用透射式微分干涉相衬显微镜测量表面形貌的方法和装置

摘要

一种用透射式微分干涉相衬显微镜定量测量透明体表面形貌的方法和装置,属微观物体表面形貌测量技术领域。其特征是在常规透射式微分干涉相衬显微镜的主Nomarski棱镜与检偏器之间加入四分之一波片,并给检偏器加驱动装置,使其可以旋转。在测量时多次旋转检偏器,可以在显微镜的成像面上得到不同相位的干涉图像,用CCD摄像机摄取干涉图像信息,存入计算机中,然后由计算机对所得的干涉图像信息进行解算和重构,即可在计算机显示器上显示三维形貌图和二维轮廓图。