干冰清洗方法和干冰清洗装置

摘要

本发明的目的是提供一种可根据清洗目标物清洗表面的污染度和污垢类型来进行清洗的方法。为实现上述目的,在本发明的用干冰来对包含电子元件的清洗目标物进行清洗的方法中,在从储存干冰的地方向清洗表面喷射干冰的过程中,可调节干冰的尺寸,从而在清洗的同时,根据清洗表面的污物或污垢类型来改变干冰的清洗性能。