斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列

摘要

本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体呈45度角,周围被气氛介质包围,一端固支,另一端与基体两点相连。它又可分为分立型和单腐蚀孔型二种,前者是独立的腐蚀孔结构,腐蚀孔之间由硅衬底相隔;后者为共用一个腐蚀孔结构,悬梁间由腐蚀孔隔开。制造特征是先沉积Si3N4层,再沉积SiO2层,再沉积多晶硅层,离子掺杂注入,光刻,腐蚀,等离子刻蚀并利用硅各相腐蚀剂腐蚀,去掉体硅,形成侧壁为(111)面,悬梁与基体成45度角,中间有孔隙相隔,从而支撑斜拉悬梁支撑膜结构。显然本发明提出的斜拉悬梁支撑膜结构可进一步改善热堆结构,提高探测器热电转换效率,获得高灵敏度。