荫罩用Fe－Ni合金和杂质观察法和电子线透过孔均匀性判别法

摘要

本发明提供Ni:34～38%、Mn:0.5%以下、余量Fe和不可避免的杂质或伴随元素的C:0.10%以下、Si:0.30%以下、Al:0.30%以下、S:0.005%以下、P:0.005%以下的荫罩用Fe－Ni合金,且此材料表面镜面抛光后,在3%硝酸－乙醇溶液中20℃下,浸渍30秒钟时,直径为0.5μm～10μm的蚀刻孔的出现频率为2000个/mm2以上。和在Fe－Ni合金材料中微小夹杂物或析出物存在的简易观察方法以及由蚀刻加工穿设电子线透过孔时孔径均匀性的判别方法。