检查基本平坦平面的发光器

摘要

一种在对工件外观检查中用于照射工件的发光器装置,该发光器包括:一个照射工件一部分的发光源,其轴上发光以第一角度方向为中心并具有第一强度,其轴外发光具有第二强度;和一个观察光学系统,观察所述工件的部分并在一个角度方向范围内接收从工件反射的光,其以第二角度方向为中心,所述的角度方向范围限定所述的轴上发光;其中,所述的第一强度和第二强度可以分别调节,并且第一角度方向与第二角度方向不同。