制造具有沟道区保护膜的薄膜晶体管面板的方法

摘要

利用干蚀刻处理形成一种保护薄膜晶体管的沟道区的保护膜。因此,即使半导体膜中有缺陷,也不会在栅极绝缘膜中形成针孔。于是,即使包括栅极的扫描信号线等仅由具有未在表面上形成阳极氧化膜的A基金属膜形成,栅极绝缘膜的击穿电压也不会降低。