行－列可寻址电微开关阵列及使用其的传感器矩阵

摘要

本发明一般涉及制造包括薄半导体膜的两端电微开关,利用这些微开关构成列－行(x－y)可寻址微开关矩阵。这些微开关是两端器件,电流和电位(或它们的导数或积分)通过这些器件根据外部偏置的大小或极性导通和截止。微开关按薄膜结构由电极/半导体/电极形式的半导电薄膜构成。列－行可寻址电微开关矩阵可以在大面积上制造,具有高像素密度。这种矩阵可与电特性响应于外部物理条件(例如光辐射,温度,压力,磁场等)变化的探测层集成,从而形成各种探测矩阵。