测量轴的变形对化学机械抛光工艺进行实时控制

摘要

描述了一种用来探测薄膜清除工艺的终点的方法和装置,其中用具有连接到轴的抛光表面的抛光装置来清除薄膜。探测了由抛光表面上的摩擦力引起的扭矩导致的轴的变形。用安装在轴上的传感器,或借助于监测从轴上二个点反射的光信号之间的相位差,来执行此探测。根据轴的变形而产生信号。信号的变化表明扭矩的变化,从而表明薄膜清除工艺的终点。此装置允许实时原位监测和控制薄膜清除工艺。