スペックル干渉計測に基づく3軸方向に同一の感度を持つ三次元変形計測法の測定感度を考慮した測定領域の拡大について

摘要

スペックルとはレーザー光のような干渉性の高いコヒーレントな光が波長よりも大きな表面粗さを持つ粗面に照射された際に，散乱光同士が複雑に干渉しあうことにより発生する現象である．この現象を用いた三軸方向に同じ光学系を配した変形計測光学系が提案されている．しかし，従来の光学系では直交する座標系を用いているために，変形を測定することができない領域が存在している．本研究では，この新しい光学系が測定できない領域を少なくすることを目指した取り組みを報告する．