包括由具有相同晶体结构和成长方向的材料制成的引晶部件和电显示部件的薄膜致动反射镜

摘要

薄膜致动反射镜(301)的阵列(300)包括:具有一个基片(312)、一组连接端子(314)阵列的有源阵列(310);和一组致动结构(410)的阵列,每个致动结构(410)包括:一个作为反射镜和共同偏压电极的上电极(395)、一个由压电材料制成的电显示部件(385)、一个由具有与电显示部件(385)相同的晶体结构和成长方向的材料制成的引晶部件(375)、一个作为信号电极的下电极(365)、一个弹性部件(355)和一个通路连接部(425)。