以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法

摘要

本发明涉及一种以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法,主要是先预设多道相同长度、厚度、电阻系数但不同线宽的印刷线路,并实际测量其电阻值,根据w(线宽)=[(ρ/t)×L(线长)]/R±σ(侧蚀量)关系换算出其与原底片上所设线路的宽度差异,亦即实际制程中的侧蚀量,利用该侧蚀量线路可在线路底片设计时预作补偿。又利用上述方法作材料(电阻系数/厚度)均匀性的评估。