公开/公告号CN1273646A
专利类型发明专利
公开/公告日2000-11-15
原文格式PDF
申请/专利权人 克拉瑞特国际有限公司;
申请/专利号CN99801113.4
申请日1999-06-23
分类号G03F7/11;G03F7/004;H01L21/027;C08F16/38;C08F8/28;C08L29/14;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人程伟
地址 瑞士穆滕茨
入库时间 2023-12-17 13:42:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-09-07
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2002-06-05
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20020403 申请日:19990623
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2001-08-08
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-11-15
公开
公开
机译: 底部抗反射膜的组合物和用于该组合物的新型聚合物染料
机译: 用于形成底部抗反射涂层的聚合物和用于形成底部抗反射涂层的组合物
机译: 用于照相照相术的底部抗反射涂层的热可交联聚合物,用于使用其制备底部抗反射涂层的组合物及其制备方法