用计算机控制的等离子体源离子渗氮工艺及设备

摘要

材料表面改性领域中,用计算机控制的等离子体源离子渗氮工艺及设备,包括升温、保温、降温及离子注渗工艺过程和供电系统、供气系统、抽真空系统与主真空室所构成的设备,特征是采用自加热式加热工件,通过计算机自动控制正负脉冲对的重复频率、各自的占空比与幅值来实现对工件温度的控制,使之按设定的渗氮温度曲线变化,优点:简化设备,降低能耗40%,过程完全自动化,工艺稳定,不打火,不起弧,不引起工件退火,安全可靠,重复性好。