用于制备石英玻璃的氯化锗和硅氧烷原料和方法

摘要

本发明揭示一种可拉制成光纤的光波导预制棒和光波导的制造方法。也揭示了包括硅氧烷和氯化锗混合物的形成石英的原料和光波导预制棒的制造装置。其它的揭示包括淀积前的混合以及使用高纯度的硅氧烷和高纯度的氯化锗制备掺锗的石英。用于将原料输送到淀积部位的管道可加热至175—200℃。