滑块的加工装置及加工方法和滑块加工用负荷施加装置及滑块加工用辅助装置

摘要

本发明的目的在于利用研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨、对边缘部分进行磨边加工时,防止研磨部件被边缘部分切断。用本发明的滑块保持夹具所保持的滑块与金刚石研磨片相接触。使负荷施加部从其最下段的法码的轴部下端部位于滑块保持夹具上方、且不与滑块保持夹具接触的状态向下方移动,而成为配置在数段上的法码依次从下段一侧对滑块保持夹具施加负荷的状态。

说明书

本发明涉及一种滑块加工装置及加工方法、滑块加工用负荷施加装置及滑块加工用辅助装置，这种加工装置和加工方法用于对漂浮型磁头等所使用的滑块边缘部分进行磨边加工。

磁盘装置等所使用的漂浮型磁头一般是在滑块的后端部形成薄膜磁头元件而构成的。一般说来，滑块表面具有成为媒体相向面(空气轴承面)的轨道部，而且在空气流入一侧的端部附近具有倾斜部或台阶部，从倾斜部或台阶部流入的空气使轨道部从磁盘等记录媒体表面稍稍漂浮起来。

这种滑块，例如像日本特开平6-282831号公报所述那样，要对滑块的边缘部分进行磨边加工，以便在滑块摇动、倾斜时，例如轨道部的媒体相向面和轨道部的外侧侧面之间的边缘部分(下面也称轨道部的边缘部)等滑块边缘部分不会划伤记录媒体。

相关技术的对滑块边缘部分的磨边加工方法有例如像日本特开平6-12645号公报所公开的方法，该方法一面向设在弹性体上的金刚石研磨片施加负荷、一面使滑块的媒体相向面与金刚石研磨片接触，使滑块相对于金刚石研磨片移动而进行研磨。

上述磨边加工方法需要向滑块施加负荷，将滑块按压在金刚石研磨片上。可是，该方法存在着下述问题，即由于金刚石研磨片的母材很薄，特别是在尚未对轨道部的边缘部分进行磨边时，或在磨边的初期阶段，滑块边缘部分有时会将金刚石研磨片切断。

另外，上述磨边加工方法在实际加工时需要往夹具上施加负荷，将滑块按压在金刚石研磨片上。而且，在滑块往加工装置上安装或从加工装置上取下时，夹具上不能有负荷。因此，需要只在必要时才对夹具施加负荷的机构。

作为这种机构，可考虑设置法码及法码保持部、并使法码保持部在上下方向上移动的机构，其中法码包括轴部和比轴部直径大的大直径部，该轴部的下端部可与夹具接触；法码保持部利用使法码的轴部插通、并阻止大直径部插通的孔使法码在轴部的轴向上可移动地保持着。

但是，这种机构存在着以下问题，即法码的轴部与法码保持部的孔之间频繁地摩擦会产生切屑(粉)，有时使法码不能相对于法码保持部圆滑地运动。

另外，上述磨边加工方法基本上可对滑块的整个边缘部分均匀地进行磨边加工。

但是，上述磨边加工方法存在着这样的问题，例如即使想对滑块的空气流入一侧边缘部分那样的一部分边缘部分比其他边缘部分多进行磨边加工，也不可能做到。

磁头用的滑块是这样构成的，即在一个方向上将数个磁头元件呈矩阵状地形成的薄片切断，形成被称作棒的块，该棒包括排列成一行的数个磁头元件，在该棒上形成轨道之后，再将棒切断而分离成一个一个的滑块。这里，上述日本特开平6-282831号公报所述的滑块中，2根轨道的外侧侧面直接作为滑块的侧面。但存在着这样的问题，即在将滑块做成上述日本特开平6～282831号公报所述的那种形状的情况下，将棒切断、形成滑块时的机械加工会在轨道部上产生碎片(屑)。

因此，如图47所示，一般是做成形成有轨道部213的滑块，该轨道部213的侧面214配置在仅距滑块211的侧面212、即棒的切断部一段规定距离的内侧。以下，将这种形状的滑块称作二段结构的滑块。

这种二段结构的滑块也要对轨道部的边缘部分进行磨边加工。相关技术的对轨道部的边缘部分进行磨边加工的方法，例如，如上述日本特开平6-12645号公报所述，有使滑块在设在弹性体上的金刚石研磨片上滑动的方法。图48是用于大致说明该相关技术的磨边加工方法的说明图。该相关技术的磨边加工是将数个滑块211固定在夹具215上，一边向图中符号218所示的方向按压设在例如用硅橡胶制成的板状弹性部件216上的金刚石研磨片217，一边在水平方向的两个方向上滑动，对轨道部213的边缘部分219进行磨边加工。图49是把用图48所示的方法进行了磨边加工之后的轨道部213的边缘部分219附近(图48中的C部)放大后表示的视图。

相关技术的磨边加工的其他方法有日本特开平2-301014号公报所述的方法，该方法一边通过导向装置对研磨带进行导向，一边使研磨带做往复运动，使研磨带相对于滑块的轨道部滑动。

但是，近年来由于记录密度提高，故要求减小滑块的漂浮量。又因存取速度的高速化，故要求滑块的漂浮要稳定。最近人们逐步采用负压滑块来满足这些要求。一般，在负压滑块上，在2根轨道部之间设有产生负压用的凹部。这种负压滑块成为记录媒体一侧的面呈微细的形状，特别是轨道部的高度与以往的滑块相比大大减小。

这种负压滑块存在着下述问题，即由于轨道部的高度小，故如图50所示，当滑块221倾斜时，滑块221的侧面222和与该侧面垂直的、成为滑块221的记录媒体一侧的面223之间的边缘部分224便与记录媒体225接触，有可能划伤记录媒体225。特别是笔记本型个人电脑等携带型装置上所使用的硬盘，由于滑块易倾斜，故上述问题较突出。

这里，本专利申请人在例如日本特开平11-238214号专利及美国专利申请第09/064 734号专利中提出了这样的技术，即用钢丝使金刚石研磨片变形，对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时研磨而进行磨边加工的技术。在这种情况下，如果钢丝的张力不稳定则加工精度便会降低，为了提高加工精度就必须使钢丝的张力稳定。

本发明的第一个目的是提供一种滑块加工装置和加工方法，以及滑块加工用负荷施加装置，这种加工装置和方法在通过研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨而对边缘部分进行磨边加工时，可防止滑块的边缘部分切断研磨部件。

本发明的第2个目的是提供一种滑块加工装置及滑块加工用负荷施加装置，这种加工装置在研磨滑块的边缘部分、对边缘部分进行磨边加工时，只是在必要时才对保持滑块的滑块保持夹具施加负荷，而且机构可以圆滑地动作。

本发明的第3个目的是提供一种滑块加工装置和加工方法、以及滑块加工用的辅助装置，这种加工装置和方法可使滑块的一部分边缘部分比其他边缘部分多进行磨边加工。

本发明的第4个目的是提供一种滑块加工装置及滑块加工用辅助装置，这种加工装置可以同时研磨滑块上的具有台阶的数个边缘部分而进行磨边加工，而且还可提高加工精度。

本发明的第1种滑块加工装置是用于研磨具有媒体相向面的滑块的边缘部分、对边缘部分进行磨边加工的装置，该装置包括以下部分：用于保持滑块的滑块保持夹具；研磨部件，它用于对上述滑块保持夹具所保持的滑块边缘部分进行研磨；负荷施加机构(装置)，它用于对滑块保持夹具施加负荷，以便将上述滑块夹具所保持的滑块向上述研磨部件上按压，而且还可调整施加在滑块保持夹具上的负荷；移动机构(装置)，它使上述滑块保持夹具所保持的滑块与上述研磨部件相对移动，以便于用上述研究部件研磨滑块的边缘部分。

本发明的第1种加工装置通过负荷施加机构(装置)将负荷施加在滑块保持夹具上，以便将滑块保持夹具所保持的滑块向研磨部件上按压，同时还对施加在滑块保持夹具上的负荷进行调整。

在本发明的第1种加工装置中，上述研磨部件例如做成片状。

另外，在本发明的第1种加工装置中，上述负荷施加机构(装置)例如设有数个法码和负荷调整机构(装置)，其中数个法码用于将负荷施加在滑块保持夹具上；负荷调整机构(装置)，通过将上述数个法码的重量阶段性地施加在滑块保持夹具上而对负荷进行调整。在这种情况下，例如上述法码包括轴部和大直径部，该大直径部比上述轴部的直径粗，上述负荷调整机构(装置)包括数段法码保持部和法码保持部移动机构，其中法码保持部上设有使上述法码的轴部插通、并阻止上述大直径部插通的孔，通过该孔使法码在轴部的轴向上可移动地保持着，法码保持部移动机构(装置)使上述法码保持部在上下方向上移动，上述负荷调整机构(装置)从下述状态、即从最下段的法码保持部所保持的法码的轴部下端部位于滑块保持夹具上方且不接触滑块夹具的状态，通过上述法码保持部移动机构(装置)使上述法码保持部向下方移动，这样便可从下段一侧开始把由数段法码保持部所保持的法码依次施加到滑块保持夹具上。另外，法码例如由具有规定重量的1个以上的块部件构成。

而且，在本发明的第1种加工装置中，也可在上述法码轴部的外周面和上述法码保持部的孔之内周面的至少一方上形成螺旋状(螺线管状)的槽。

另外，在本发明的第1种加工装置中，例如上述研磨部件具有研磨面，加工装置也可具有对上述滑块保持夹具进行定位的定位装置，以便在滑块的媒体相向面相对于上述研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触。在这种情况下，例如上述滑块包括具有台阶的数个边缘部分，上述研磨部件具有挠性，加工装置也可具有使上述研磨部件变形的变形机构(装置)，以便利用上述研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。

还有，在本发明的第1加工装置中，例如上述滑块包括具有台阶的数个边缘部分，上述研磨部件具有挠性，加工装置也可具有变形装置，以便利用上述研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨，该变形装置是使上述研磨部件变形的装置，它具有主体和钢丝，其中主体夹住上述研磨部件，并配置在与上述滑块保持夹具所保持的滑块相对的位置上；钢丝卷绕在上述主体的外周部上，其作用是使研磨部件变形。上述变形装置也可具有弹性部件和凸部，它们配置在上述钢丝之中位于变形装置的顶面部分上的那部分的下侧。

本发明的第1种滑块加工方法包括以下程序：

对边缘部分进行磨边加工的程序，在该程序中将负荷施加在滑块保持夹具上，以便将滑块按压在研磨部件上，该研磨部件用于对具有媒体相向面的滑块的边缘部分进行研磨，在施加负荷的同时使滑块与研磨部件进行相对移动，利用研磨部件来研磨滑块的边缘部分，对该边缘部分进行磨边加工；

随着磨边加工的进行，改变施加在滑块保持夹具上的负荷的程序。

在本发明的第1种加工方法中，上述研磨部件例如做成片状。

另外，在本发明的第1加工方法中，改变上述负荷的程序也可根据磨边加工的进行，阶段性地增加施加在滑块保持夹具上的负荷。

而且，在本发明的第1种加工方法中，例如上述研磨部件具有研磨面，上述磨边加工程序也可包括以下程序，即在滑块的媒体相向面相对于上述研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件相接触的程序；在使滑块的媒体相向面相对于研磨部件的研磨面倾斜、并且使滑块与研磨部件相接触的状态下使滑块与上述研磨部件相对移动，利用研磨部件对滑块的规定边缘部分进行研磨的程序。在这种情况下，如果上述滑块含有具有台阶的数个边缘部分、研磨部件具有挠性，则上述研磨程序也可这样进行，使研磨部件变形，通过研磨部件对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。

此外，在本发明的第1种加工方法中，例如上述研磨部件具有研磨面，进行上述磨边加工的程序包括第1研磨程序和第2研磨程序，其中第1研磨程序是在滑块的媒体相向面相对于上述研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触，并使滑块与研磨部件相对移动，对滑块的边缘部分中的与上述研磨部件相接触的部分进行研磨；第2研磨程序是在滑块的媒体相向面与研磨部件的研磨面平行的状态下使滑块与研磨部件接触，并使滑块与上述研磨部件相对移动，对滑块的边缘部分中的与研磨部件接触的部分进行研磨。

在这种情况下，例如上述滑块含有具有台阶的数个边缘部分，上述研磨部件具有挠性，则上述第1研磨程序也可使研磨部件变形，利用研磨部件对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。另外，上述第2研磨程序也可使研磨部件变形，利用研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。另外，例如上述滑块含有具有台阶的数个边缘部分，上述第1研磨程序也可包括下述程序：在不使研磨部件变形的情况下，用研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨的程序；使具有挠性的研磨部件变形，利用研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨的程序。还有，上述第1研磨程序也可把与研磨部件接触的边缘部分中的至少一部分磨边加工成斜面状；上述第2研磨程序也可把通过上述第1研磨程序磨边加工成斜面状的边缘部分磨边加工成曲面状。

本发明的第1种滑块加工用负荷施加装置用在研磨具有媒体相向面的滑块的边缘部分、对边缘部分进行磨边加工的滑块加工装置上，将负荷施加在上述滑块保持夹具上，以便于将该滑块保持夹具所保持的滑块按压在上述研磨部件上，上述滑块加工装置具有下述部分：滑块保持夹具，它用于将具有媒体相向面的滑块保持住；研磨部件，它用于对上述滑块保持夹具所保持的滑块的边缘部分进行研磨；移动机构(装置)，它使上述滑块保持夹具所保持的滑块与上述研磨部件相对移动，以便利用上述研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨。

本发明的第1种负荷施加装置具有下述部分：

向滑块保持夹具施加负荷用的数个法码；

通过将上述数个法码所组成的负荷分阶段地施加在滑块保持夹具上，对负荷进行调整的负荷调整机构(装置)，

上述法码包括轴部和直径比该轴部大的大直径部，

上述负荷调整机构(装置)包括数段法码保持部和法码保持部移动机构(装置)，其中数段法码保持部上分别形成有使上述法码的轴部插通、并阻止上述大直径部插通的孔，通过这些孔使上述法码在轴部的轴向上可移动地保持着，法码保特部移动机构(装置)使法码保持部在上下方向上移动，

上述负荷调整机构(装置)通过上述法码保持部移动机构(装置)使法码保持部向下方移动，从最下段的法码保持部所保持的法码的轴部下端部位于滑块保持夹具上方且不接触滑块保持夹具的状态成为由数段法码保持部所保持的法码从下段一侧开始依次将负荷施加到滑块保持夹具上的状态。

本发明的第1种负荷施加装置通过负荷调整机构(装置)把由数个法码组成的负荷分阶段地施加在滑块保持夹具上，对施加在滑块保持夹具上的负荷进行调整。

在本发明的第1种负荷施加装置中，上述法码例如是由具有规定重量的1个以上的块部件构成的。

另外，在本发明的第1种负荷施加装置中，也可在上述法码轴部的外周面和法码保持部的孔的内周面中的至少一方上设螺旋状槽。

本发明的第2滑块加工装置是研磨具有媒体相向面的滑块上的边缘部分、对边缘部分进行磨边加工的装置，

该第2种滑块加工装置具有以下部分：

用于保持滑块的滑块保持夹具；

用于对上述滑块保持夹具所保持的滑块的边缘部分进行研磨的研磨部件；

对滑块保持夹具施加负荷的负荷施加机构(装置)，它用于将上述滑块保持夹具所保持的滑块按压在上述研磨部件上；

使上述滑块保持夹具所保持的滑块与研磨部件相对移动的移动机构，以便用研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨。

上述负荷施加机构(装置)具有下述部分：

包括轴部和大直径部的法码，其中轴部的下端部可与上述滑块保持夹具相接触，大直径部的直径比上述轴部的大；

法码保持部，该法码保持部上设有可使法码的轴部插通、并阻止上述大直径部插通的孔，通过该孔使上述法码在上述轴部的轴向上可移动地保持着；

法码保持部移动机构(装置)，它使上述法码保持部在上下方向上移动；

在上述法码的轴部的外周面和法码保持部的孔的内周面中的至少一方上设有螺旋状槽。

本发明的第2种滑块加工装置中，利用法码保持移动机构(装置)使法码保持部在上下方向上移动，这样便可对下述两种状态进行选择，即法码轴部的下端部不接触滑块保持夹具，由法码组成的负荷不往滑块保持夹具上施加的状态；法码轴部的下端部与滑块保持夹具接触，由法码组成的负荷施加到滑块保持夹具上的状态。另外，该滑块加工装置，通过在法码轴部的外周面和法码保持部的孔的内周面的至少一方上形成的螺旋状槽，将法码的轴部与法码保持部的孔之间摩擦所产生的切屑(粉)收集进去，以保持轴部的圆滑动作。

在本发明的第2种滑块加工装置中，例如设有数段法码保持部，以保持数个法码，上述负荷施加机构(装置)也可通过上述法码保持部移动机构(装置)使法码保持部向下方移动，从最下段的法码保持部所保持的法码的轴部下端部不接触滑块保持夹具、而位于滑块保持夹具上方的状态成为由数段法码保持部所保持的法码从下段一侧开始依次将负荷施加到滑块保持夹具上的状态。

此外，在本发明的第2种滑块加工装置中，例如上述法码是由具有规定重量的1个以上的块部件构成的。

本发明的第2种滑块加工用负荷施加装置同第1种负荷施加装置一样，是向滑块保持夹具施加负荷，以便将滑块保持夹具所保持的滑块按压在研磨部件上的装置，

该装置具有以下部分：

法码，它包括下端部可与滑块保持夹具相接触的轴部，以及直径比上述轴部大的大直径部；

法码保持部，它设有可使法码的轴部插通、并阻止大直径部插通的孔，利用该孔使上述法码在上述轴部的轴向上可移动地保持着；

法码保持部移动机构(装置)，它使法码保持部在上下方向上移动；

在上述法码的轴部的外周面和上述法码保持部的孔的内周面的至少一方上设有螺旋状槽。

本发明的第2种负荷施加装置同本发明的第2种加工装置一样，在法码轴部的外周面和法码保持部的孔的内周面的至少一方上设有螺旋状的槽，它将法码的轴部与法码保持部的孔之间摩擦所产生的切屑(粉)收集进去，以保持轴部的圆滑动作。

在本发明的第2种负荷施加装置中，上述法码例如是由具有规定重量的1个以上的块部件构成。

本发明的第3种滑块加工装置是用于研磨具有媒体相向面的滑块的边缘部分，对边缘部分进行磨边加工的装置，它具有下述部分：

用于保持滑块的滑块保持夹具；

具有研磨面的研磨部件，它用于对上述滑块保持夹具所保持的滑块之边缘部分进行研磨；

对上述滑块保持夹具进行像下述那样定位的定位装置，即在滑块的媒体相向面相对于上述研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触；

移动机构(装置)，它使上述滑块保持夹具所保持的滑块与研磨部件相对地进行移动，以便于用上述研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨。

本发明的第3种加工装置通过定位装置对滑块保持夹具像下述那样进行定位，即在滑块的媒体相向面对于研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触，利用研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨。

在本发明的第3种加工装置中，例如上述滑块含有具有台阶的数个边缘部分，上述研磨部件具有挠性，则加工装置也可具有使上述研磨部件变形的变形机构(装置)，以便利用上述研磨部件对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。

本发明的第2种滑块加工方法是研磨具有媒体相向面的滑块的边缘部分，对边缘部分进行磨边加工的方法，该加工方法包括下述程序：

在滑块的媒体相向面相对于对滑块的边缘部分进行研磨的研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触的程序；

在滑块的媒体相向面相对于研磨部件的研磨面倾斜，并且滑块与研磨部件接触的状态下使滑块与上述研磨部件相对移动，通过研磨部件对滑块的规定边缘部分进行研磨的程序。

在本发明的第2种加工方法中，例如上述滑块包含具有台阶的数个边缘部分，研磨部件具有挠性，则上述研磨加工程序也可使研磨部件变形，利用研磨部件对滑块的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。

本发明的第3种滑块加工方法是研磨具有媒体相向面的滑块的边缘部分，对边缘部分进行磨边加工的方法，该方法包括下述程序：

第1研磨程序，在滑块的媒体相向面相对于研磨滑块边缘部分的研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触，并使滑块与上述研磨部件相对地移动，对滑块边缘部分中的与上述研磨部件相接触的部分进行研磨；

第2研磨程序，在滑块的媒体相向面与研磨部件的研磨面平行的状态下使滑块与研磨部件接触，并使滑块与研磨部件相对地移动，对滑块边缘部分中的与研磨部件相接触的部分进行研磨。

在本发明的第3种加工方法中，例如上述滑块包含具有台阶的数个边缘部分，研磨部件具有挠性，则上述第1研磨程序也可使研磨部件变形，利用研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。另外，上述第2研磨程序也可使研磨部件变形，通过研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。又例如，上述滑块包含具有台阶的数个边缘部分，上述第1研磨程序也可包括下述研磨程序，即在研磨部件不变形的情况下，利用研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨的程序；使具有挠性的研磨部件变形，利用研磨部件对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨的程序。另外，上述第1研磨程序也可将与研磨部件相接触的边缘部分中的至少一部分磨边加工成为斜面状，上述第2研磨程序也可对经过上述第1研磨程序磨边加工成斜面状的边缘部分进行磨边加工而成为曲面状。

本发明的第1种滑块加工用辅助装置是用在研磨滑块的边缘部分、对边缘部分进行启面加工的滑块加工装置上，是对上述滑块保持夹具相对于研磨部件的位置进行定位的装置，该滑块加工用辅助装置设有上述滑块保持夹具研磨部件及移动机构。

本发明的第1种辅助装置包括主体和定位部，其中主体配置在上述研磨部件的上方；定位部设在上述主体上，对滑块保持夹具进行定位，以便在滑块的媒体相向面相对于研磨部件倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触。

本发明的第1种辅助装置通过定位部对滑块保持夹具进行定位，以便在滑块的媒体相向面相对于研磨部件的研磨面倾斜的状态下使滑块与研磨部件接触。

本发明的第4种滑块加工装置是对具有带有台阶的数个边缘部分和媒体相向面的滑块的边缘部分进行研磨、对边缘部分进行磨边加工的装置，该加工装置具有下述部分：

具有挠性的研磨部件，它用于对上述滑块保持夹具所保持的滑块边缘部分进行研磨；

变形装置，它是使上述研磨部件变形的装置，利用上述研磨部件对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨，该变形装置具有主体和钢丝，其中主体夹着研磨部件、位于与上述滑块保持夹具所保持的滑块相向的位置上，钢丝卷绕在上述主体的外周部上，其作用是使上述研磨部件变形；

移动机构(装置)，它使上述滑块保持夹具所保持的滑块与研磨部件相对地移动，以便通过上述研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨。

本发明的第4种滑块加工装置通过变形装置的钢丝使研磨部件变形，利用该研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。由于钢丝卷绕在主体的外周部上，故张力稳定。

在本发明的第4种滑块加工装置上，上述变形装置还可具有弹性部件和凸部，它们配置在上述钢丝中的位于变形装置的顶面部分的那部分的下侧。

本发明的第2种加工用辅助装置具有同第4种加工装置一样的滑块保持夹具，研磨部件和移动机构，它用在研磨滑块的边缘部分、对边缘部分进行磨边加工的滑块加工装置上，它设有以下部分：

主体，它夹着上述研磨部件、配置在与上述滑块保持夹具所保持的滑块相向的位置上；

钢丝，它卷绕在上述主体的外周部上，用于使上述研磨部件变形，以便利用研磨部件对滑块的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。

在本发明的第2种辅助装置中，钢丝使研磨部件变形。并且，通过变了形的研磨部件对滑块的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。由于钢丝卷绕在主体的外周部上，故张力稳定。

本发明的第2种辅助装置也可设置弹性部件和凸部，它们配置在上述钢丝中的位于变形装置的顶面部分的那部分的下侧。

本发明的其他目的，特征及效益，根据下述说明就会很明白了。

本发明的第2种滑块加工用辅助装置设有同第4加工装置一样的滑块保持夹具、研磨部件和移动机构，用在对滑块的边缘部分进行研磨，对边缘部分进行磨边加工的滑块加工装置上。

该滑块加工用辅助装置具有主体和钢丝，其中主体夹着上述研磨部件、配置在与滑块保持夹具所保持的滑块相向的位置上；

钢丝，它卷绕在上述主体的外周部上，用于使研磨部件变形，以便利用上述研磨部件对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。在本发明的第2辅助装置上，钢丝使研磨部件变形。而且，变了形的研磨部件对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨。由于钢丝卷绕在主体的外周部上，故张力稳定。

本发明的第2种辅助装置也可设置弹性部件和凸部，它配置在上述钢丝中、位于滑块加工用辅助装置上面部分的那部分的下侧。

本发明的其他目的、特征及效益，通过下述说明便十分清楚了。

图1是将本发明的1个实施形态的滑块加工装置局部剖开后表示的正视图。

图2是图1的右侧视图。

图3是将图1的X-Y工作台附近放大后表示的正视图。

图4是图3的右侧视图。

图5是图1的Y方向摇动宽度调整部件的正视图。

图6是图5的侧视图。

图7是图1的Y方向摇动宽度调整部件的正视图。

图8是图7的侧视图。

图9是表示图2中的滑块保持夹具定位板移动状态的说明图。

图10是表示用于检测是否有图9所示的滑块保持夹具定位板的传感器说明图。

图11是图1中绕线块的侧视图。

图12是图11所示绕线块的正视图。

图13是表示图11所示绕线块所使用的弹性部件的立体图。

图14是表示图11所示绕线块所使用的变形用部件的立体图。

图15是表示图11所示绕线块及配置在其上的橡胶块以及金刚石研磨片的立体图。

图16是表示用于代替图11所示绕线块的板子及配置在其上的橡胶板的正视图。

图17是用于说明在图11所示的绕线块上配置橡胶板及金刚石研磨片的配置方法1例的说明图。

图18是表示用图17所示的方法将橡胶板及金刚石研磨片复盖在绕线块上的状态的俯视图。

图19是图18的正视图。

图20是本发明的一个实施形态的加工装置所使用的滑块保持夹具定位板的俯视图。

图21是图20的21-21线断面图。

图22是本发明的一个实施形态的加工装置所使用的另一滑块保持夹具定位板的平面图。

图23是图22的23-23线断面图。

图24是表示用本发明的1个实施形态的加工装置加工的滑块1例的立体图。

图25是表示用本发明1个实施形态的加工装置加工时的滑块附近的断面图。

图26是将图25的C部放大后表示的说明图。

图27是从正面看图1的负荷施加部的断面图。

图28是从侧面看图1的负荷施加部的断面图。

图29是表示在图28所示的法码保持夹具的孔上设有螺旋状槽时法码保持夹具的断面图。

图30是用于说明图1的负荷施加部作用的断面图。

图31是用于说明图1的负荷施加部作用的断面图。

图32是用于说明图1的负荷施加部作用的断面图。

图33是用于说明图1的负荷施加部作用的断面图。

图34是表示本发明1个实施例的加工方法中第1阶段中磨边加工状态的断面图。

图35是表示本发明1个实施例的加工方法中第2阶段的磨边加工状态的断面图。

图36是表示本发明1个实施例的加工方法中第3阶段的磨边加工状态的断面图。

图37是表示用于与本发明的1个实施例的加工方法相比较的另外的磨边加工方法的断面图。

图38是表示用于与本发明的1个实施例的加工方法相比较的另外的磨边加工方法的断面图。

图39是表示用图37所示的方法和图38所示的方法进行磨边加工时滑块的空气流入端一侧的边缘部分形状的1例的说明图。

图40是表示按照本发明的1个实施形态进行3个阶段磨边加工时滑块的空气流入端一侧的边缘部分形状的1例的说明图。

图41是表示本发明的1个实施例的滑块保持夹具侧面与金刚石研磨片研磨面的夹角为60°时滑块保持夹具的说明图。

图42是表示在图41表示情况下的第2阶段的磨边加工完丝后边缘部分的形状的1例的说明图。

图43是表示在图41所示的情况下的第3阶段的磨边加工完毕后边缘部分形状的1例的说明图。

图44是表示本发明的1个实施例的滑块保持夹具侧面与金刚石研磨片研磨面的夹角为75°时滑块保持夹具的说明图。

图45是表示图44所示情况下的第2阶段的磨边加工完毕后边缘部分形状的1例的说明图。

图46是表示图44所示情况下的第3阶段的磨边加工完毕后边缘部分形状的1例的说明图。

图47是表示滑块形状的1例的立体图。

图48是用于大致说明相关技术的对滑块的启面加工方法的说明图。

图49是把经过图48所示的加工方法进行磨边加工后的轨道部边缘附近C部放大后表示的说明图。

图50是表示滑块倾斜姿态的说明图。

下面参照附图对本发明的实施形态进行详细说明。

图1是将本发明的一个实施形态的滑块加工装置局部剖开后表示的正视图，图2是图1的右侧视图。另外，图3是将图1所示的加工装置的X-Y工作台附近放大后表示的正视图，图4是图3的右侧视图。本实施形态的加工装置10是对滑块的边缘部分进行研磨、对边缘部分进行磨边加工的装置。此外，在本实施形态中，滑块是列举的薄膜磁头使用的滑块例。

加工装置10设有装置主体11。在该装置主体11的前端设有操作盘23。在装置主体11上还设有底座部12。在底座部12上设有X-Y工作台13，该工作台的上面可在X方向(图1中箭头所示的左右方向)及Y方向(图2中箭头所示的左右方向)上移动。X-Y工作台13与本发明的移动机构(装置)相对应。

X-Y工作台13具有以下几部分：固定在底座部12上的固定板14；设在该固定板14上的Y方向摇动板15；固定在该Y方向摇动板15上的板16；设在该板16上的X方向摇动板17；固定在该X方向摇动板17上的板18。

如图3所示，在固定板14顶面上X方向的两端部分别设有向Y方向延伸、并且有轴承的导向装置19。在Y方向摇动板15底面上X方向的两端部分别设有卡合部20，该卡合部向Y方向延伸。并可在设于固定板14上的导向装置19上移动。另外，通过该卡合部20沿着固定板14上的导向装置19移动，Y方向摇动板15便在Y方向上移动。

另外，如图4所示，在板16顶面上Y方向的两端部分别设有向X方向延伸、并且有轴承的导向装置21。在X方向摇动板17底面上Y方向的两端部分别设有卡合部22，该卡合部向X方向延伸，与设在板16上的导向装置21卡合。这样，该卡合部22沿着板16上的导向装置21移动，X方向摇动板17便沿着X方向移动。

在板18上固定着数个绕线块30。绕线块30与本发明的变形装置或滑块加工用辅助装置相对应。关于该绕线块30的结构将在后面详细说明。

如图3所示，在装置主体11内设有Y方向摇动用电动机40。在装置主体11内，在Y方向摇动用电动机40的回转轴41上设有圆板42。在装置主体11内设有夹着该圆板42的摇动原点传感器43。例如，在圆板42的规定部位设孔，摇动原点传感器43使用内部装有放大器的透过型光传感器。这种情况下，摇动原点传感器43对圆板42上孔的位置进行检测，检测出Y方向的摇动原点。

另外，在底座部12的上方位置上，Y方向摇动用回转轴45通过Y方向摇动宽度调整部件44与Y方向摇动用电动机40的回转轴41相连接。Y方向摇动宽度调整部件44，其Y方向摇动用电动机40的回转轴41与Y方向摇动用回转轴45错开，而且还可调整该错开量。在Y方向摇动用回转轴45的上端部安装有具有轴承的凸轮46。在Y方向摇动板15的顶面设有沿X方向延伸、用于导引凸轮46的导向装置47。在Y方向摇动用电动机40的回转轴41与Y方向摇动用回转轴45错开的情况下，使Y方向摇动用电动机41回转，则凸轮46回转，该凸轮46沿着导向装置47移动，于是导向装置47、板16及Y方向摇动板15便在Y方向上摇动。另外，在底座部12、固定板14、Y方向摇动板15及板16上设有用于穿插Y方向摇动用回转轴45的孔。

而且，在装置主体11内设有X方向摇动用电动机50。在装置主体11内，在X方向摇动用电动机50的回转轴51上装有圆板52。在装置主体11内设有夹住该圆板52的摇动原点传感器53。例如，在圆板52的规定部位设孔，摇动原点传感器53采用内部装有放大器的透过型光传感器。在这种情况下，摇动原点传感器53对圆板52上孔的位置进行检测，检测出X方向的摇动原点。

在本实施形态中，开始进行加工处理时，通过摇动原点传感器43、53检测Y方向及X方向的摇动原点，使X-Y工作台13的位置恢复到摇动原点，这样便使开始加工处理时的X-Y工作台13的位置始终保持一定。于是，可消除处理结果的分散性。

在底座部12的上方位置上，通过X方向摇动宽度调整部件54将X方向摇动用回转轴55与X方向摇动用电动机50的回转轴51的上端部连接起来。X方向摇动宽度调整部件54，其X方向摇动用电动机50的回转轴51与X方向摇动用回转轴55错开，而且还可调节该错开量。在X方向摇动用回转轴55的上端部安装有具有轴承的凸轮56。在X方向摇动板17的底面设有向Y方向延伸、用于引导凸轮56的导向装置57。在Y方向摇动用电动机50的回转轴51与X方向摇动用回转轴55错开的情况下使X方向摇动用电动机50回转时，凸轮56回转，通过该凸轮56沿着导向装置57移动，导向装置57、X方向摇动板17及板18便在X方向上摇动。另外，在底座部12，固定板14、Y方向摇动板15及板16上设有插通X方向摇动用回转轴55的孔。

这里，参照图5～图8，对Y方向摇动宽度调整部件44的结构及作用进行说明。图5是Y方向摇动用电动机40的回转轴41与Y方向摇动用回转轴45的错开量为零时Y方向摇动宽度调整部件44的正视图，图6是图5的侧视图。此外，图7是Y方向摇动用电动机40的回转轴41与Y方向摇动用回转轴45的错开量为大于零的规定值时，Y方向摇动宽度调整部件44的正视图，图8是图7的侧视图。

Y方向摇动宽度调整部件44具有以下部分：固定部61，它固定在Y方向摇动用电动机40的回转轴41的上端部上，并具有向一个方向延伸的槽；可动部62，它可移动地装在该固定部61的槽内，并固定在Y方向摇动用回转轴45的下端部上；驱动用螺钉63，它安装在固定部61的侧部，用于使可动部62相对于固定部61移动；固定用螺钉64，它安装在固定部61的另一侧，用于使可动部62固定在固定部61上。

在该Y方向摇动宽度调整部件44上，通过使驱动用螺钉63回转，便可使可动部62相对于固定部61移动，将固定用螺钉64拧紧，便可将可动部62固定在固定部61上。

在Y方向摇动宽度调整部件44上，如图5及图6所示，当Y方向摇动用电动机40的回转轴41与Y方向摇动用回转轴45的错开量为零时，即使驱动Y方向摇动用电动机40，Y方向摇动用回转轴45只能回转，但其位置不改变。因此，Y方向摇动板15的摇动宽度为零。

而且，在Y方向摇动宽度调整部件44上，如图7及图8所示，Y方向摇动用电动机40的回转轴41与Y方向摇动用回转轴45的错开量为大于零的规定值时，驱动Y方向摇动用电动机40，则Y方向摇动用回转轴45便在相对于回转轴41偏心的状态下回转，结果Y方向摇动板15摇动。在这种情况下，Y方向摇动板15的摇动宽度为回转轴41与Y方向摇动用回转轴45的错开量的2倍。

此外，X方向摇动宽度调整部件54的构成及作用同Y方向摇动宽度调整部件44一样。

在本实施形态中，Y方向摇动用电动机40的转速控制在0-40rpm的范围内，X方向摇动用电动机50的转速控制在0～30rpm的范围内。

在本实施形态中，Y方向摇动板15的摇动宽度控制在0～15mm的范围内，X方向摇动板17的摇动宽度控制在0～30mm的范围内。

如图1所示，在底座12上，在X-Y工作台13的左右方向的两侧位置上固定有向Y方向延伸的2条轨道部29。在各轨道部29上分别设有向Y方向延伸的导向装置71。

另一方面，在X-Y工作台13的上方设有滑块保持夹具定位板70。该滑块保持夹具定位板70是用于对保持滑块的滑块保持夹具80进行定位的。滑块保持夹具定位板70与本发明的定位装置或滑块加工辅助装置相对应。滑块保持夹具80与本发明的滑块保持夹具相对应。卡合在导向装置71上的卡合部72与滑块保持夹具定位板70的X方向上两端部附近的底面相接合。因此，该卡合部72沿着导向装置71移动，滑块保持夹具定位板70便在Y方向上移动。滑块保持夹具定位板70在位于最前侧的状态下配置在X-Y工作台13的上方位置上，从该状态移动到后侧时，便从X-Y工作台13的上方位置退避。

图9是表示滑块保持夹具定位板70移动状态的视图。滑块保持夹具定位板70在配置于最后侧(图的右侧)的状态下，在与滑块保持夹具定位板70的后端部相对应的位置上设有止挡器75，用于限制滑块保持夹具定位板70向后侧移动。

图10表示用于检测X-Y工作台13的上方位置上是否有滑块保持夹具固定板70的传感器的说明图。如该图所示，在保持夹具固定板70的前端部设有传感器动作片73。滑块保持夹具定位板70在配置于最前侧的状态下，在与滑块保持夹具定位板79的前端部相对应的位置上设有滑块保持夹具定位板检测传感器74，通过检测传感器动作片13，可检测出X-Y工作台13的上方位置上是否有滑块保持夹具定位板70。该传感器74采用例如内部安装有放大器的透过型光传感器。

在本实施形态中，通过滑块保持夹具定位板检测传感器74检测出滑块保持夹具定位板70已从X-Y工作台13的上方位置退避之后，必须在检测出滑块保持夹具定位板70已配置在X-Y工作台13的上方位置上之后才能进行加工处理。这是因为当每1次加工处理完毕，一旦使滑块保持夹具定位板70从X-Y工作台13的上方位置退避，便要更换、重新复盖后述的金刚石研磨片的缘故。

如图1所示，在滑块保持夹具定位板70上设有滑块保持夹具检测传感器75，用于检测滑块保持夹具80是否安装在该滑块保持夹具定位板70上。该传感器75采用例如光传感器，其发光部及受光部配置在夹住滑块保持夹具80的相向位置上。

本实施例的加工装置10在通过滑块保持夹具检测传感器75确认没有滑块保持夹具80之后，再使X-Y工作台13的位置恢复到摇动原点上。

本实施形态的加工装置10还设有负荷施加部100，该装置对滑块保持夹具80所夹持的滑块施加向下的负荷，并且可对施加负荷的大小进行调整。负荷施加部100与本发明的负荷施加机构(装置)相对应。后面，将详细说明负荷施加部100的结构。

下面，参照图11～图15对绕线块30的结构进行说明。图11是绕线块30的侧视图，图12是绕线块30的正视图，图13是表示在绕线块30上所使用的弹性部件的立体图，图14是表示在绕线块30上所使用的变形用部件的立体图。

如图11及图12所示，绕线块30具有块部件主体31。在块部件主体31上设有上面开口的正方体形状的凹部31a。在凹部31a内装有图13所示的正方体形状的弹性部件32或图14所示的变形用部件33。弹性部件32，采用例如硅橡胶制成。弹性部件32被装在凹部31a内时，其顶面与块部件主体31的顶面处于同一平面。在变形用部件33的顶面形成有数个凸部33a，这些凸部在垂直于变形用部件33的长度方向上延伸。各凸部33a的断面呈矩形。变形用部件33采用例如不锈钢制成。变形用部件33被收纳在凹部31a内时，其凸部33a的顶面便与块部件主体31的顶面处于同一平面。

在凹部31a内收纳的弹性部件32或变形用部件33的块部件主体31的外周上卷绕有数圈钢丝34。钢丝34的各端部在块部件主体31的长度方向的两端部附近通过钢丝止动螺钉35而被固定在块部件主体31上。变形用部件33收纳在凹部31a内时，钢丝34中位于绕线块30顶面部分上的那部分便配置在变形用部件33的凸部33a上。

在块部件主体31长度方向的两端部附近设有贯通止动螺钉用的孔36。于是，如图3及图4所示，绕线块30便由止动螺钉37固定在板18上，该止动螺钉贯穿在止动螺钉用的孔36内。

图15是表示绕线块30和配置在其上的橡胶板及金刚石研磨片的立体图。该图中所示的绕线块30在块部件主体31的凹部31a内收纳有变形用部件33，但也可在凹部31a内收纳弹性部件32。在绕线块30上配置有橡胶板38，在该橡胶板38上配置有金刚石研磨片39。橡胶板38采用例如硅橡胶制成。金刚石研磨片39与本发明的研磨部件相对应。

另外，在本实施形态的加工装置10上，根据目的不同，可用图16所示的板90代替绕线块30。板90采用例如不锈钢制成。在使用板90的情况下，板90固定在板18上，在板90上配置有橡胶板38，在橡胶板38上配置有图15所示的金刚石研磨片39。

在此，参照图17-图19对在绕线块30上配置橡胶板38及金刚石研磨片39的方法的一例进行说明。如图17所示，在板18上固定数个绕线块30。橡胶板38是以复盖全部绕线块30的方式配置的。在图17所示的例中，在橡胶板38上配置金刚石研磨片39的情况下，首先将金刚石研磨片39放在硬纸板91上。这时，要使金刚石研磨片39的端部比硬纸板91的端部稍露出一些。接着，使金刚石研磨片39露出硬纸板91端部的部分与橡胶板38上配置有金刚石研磨片39的区域一端的部分相接触，用于按压该部分，将硬纸板91向箭头92所示方向拉，同时将金刚石研磨片39复盖在橡胶板38上。

图18是表示像这样在橡胶板38上复盖了金刚石研磨片39的状态的俯视图，图19是其正视图。如图18所示，在本实施形态的加工装置10上，绕线块30在X方向(图18中箭头所示的左右方向)上配列5个、在Y方向(图18中箭头所示上下方向)上配列2个，共计设置10个。另外，钢丝34沿X方向配置。

接着，参照图20～23对滑块保持夹具定位板70进行说明。在本实施形态的加工装置10上准备有2种滑块保持夹具定位板70。以下，用符号70A表示第1种滑块保持夹具定位板，用符号70B表示第2种滑块保持夹具定位板。此外，符号70是代表2种滑块保持夹具定位板70A、70B的。

图20是第1种滑块保持夹具定位板70A的俯视图，图21是图20的21-21线断面图。如这些图所示，滑块保持夹具定位板70A具有板状主体70a，该板状主体不接触金石研磨片，而是配置在其上方。在该主体70a上设有10个孔76A，用于穿插滑块保持夹具80。这10个孔76A是这样配置的，即与图18的10个绕线块30形成同样的位置关系。另外，孔76A如图21所示，以规定角度相对于垂直方向倾斜。于是，孔76A要这样对滑块保持夹具80定位，即在滑块的媒体相向面相对金刚石研磨片39的研磨面倾斜的状态下，滑块与金刚石研磨片39接触。孔76A与本发明的定位部相对应。

图22是第2种滑块保持夹具定位板70B的平面图，图23是图22的23-23线断面图。如这些图所示，滑块保持夹具定位板70B具有板状主体70b，该板状主体不与金刚石研磨片39接触，而是配置在其上方。在该主体70b上设有10个孔76B，用于穿插滑块保持夹具80。这10个孔76B是这样配置的，即它们与图18的10个绕线块30形成同样的位置关系。另外，孔76B如图23所示，在垂直方向上延伸。于是，孔76B要这样对滑块保持夹具80进行定位，即在滑块的媒体相向面平行于金刚石研磨片39的研磨面的状态下，滑块与金刚石研磨片39接触。

滑块保持夹具定位板70A、70B的各主体70a、70b上均设有数个穿插螺钉用的螺钉孔77，该螺钉用于将板70A、70B固定在图1及图2所示的卡合部72上。而且，在滑块保持夹具定位板70A、70B的各主体70a、70b上也都设有穿插螺钉用的螺钉孔78，该螺钉用于安装滑块保持夹具检测传感器75。

下面，参照图24对使用本实施形态的加工装置所加工的滑块的一例进行说明。该图所示的滑块150是用于薄膜磁头的滑块，表面具有成为媒体相向面(空气轴承面)的轨道部，而且轨道部要这样设置，即轨道部的外侧侧面配置在滑块150的侧面内侧。

另外，该滑块150是负压滑块，它具有表面成为媒体相向面的2条轨道部153，而且其轨道部153是这样设置的，也就是说轨道部153的外侧侧面154配置在只比滑块150的侧面152即棒的切断部向内1个规定距离的内侧。

在图24中，用符号166表示动作时的空气流动方向。在滑块150上，把空气流入一侧的空气流入侧的面作为流入侧端面LE，把空气流出侧一即空气流出侧的面作为流出侧端面TR。把沿着空气流方向形成的、与流入侧端面LE、流出侧端面TR及媒体相向面交叉的面作为侧面。其中，在很多情况下，流入侧端面LE、流出侧端面TR和媒体相向面与侧面是相互垂直的。另外，在图24所示的滑块150上，在轨道153的侧面中，轨道部153的外侧侧面154是最接近滑块侧面152的2个侧面。

在2条轨道部153之间形成凹部形状的负压发生部155。轨道部153的宽度从空气流入侧到空气流出侧不是相等的，空气流入侧的宽度最宽，其次是空气流出侧，中间部分最窄。在轨道部153的空气流入侧的端部附近形成有倾斜部160，该倾斜部的高度向端部侧逐渐降低。此外，在滑块150的空气流出侧的端部还设有磁头元件157和与该磁头元件157相连接的端子158。在这种滑块150上，轨道部153的高度(负压发生部155的深度)约为数μm(例如0.5μm～5μm)。而且，滑块150的侧面152与轨道153外侧的侧面154之间的宽度约为数十μm(例如10μm～60μm)。

另外，图24所示的滑块150，符号150a表示的大部分是由例如氧化铝·碳化钛(Al₂O₃·Tic)制成的，符号150b表示的空气流出侧的一部分是用包住磁头元件157和端子158的三氧化二铝(Al₂O₃)制成的。

下面，参照图25及图26对绕线块30与滑块150的关系进行说明。图25是表示加工时滑块150附近状况的说明图。图26是将图25的C部放大后表示的视图。此外，图25还表示绕线块30是采用块部件主体31的凹部31a内收纳有变形用部件33的绕线块的例子，图25只表示该绕线块30中的变形用部件33及钢丝34。

如图25所示，滑块保持夹具80的下端侧设有数个滑块固定部80a，通过例如粘结方法把加工对象即滑块150固定在各滑块固定部80a上。

设置在变形用部件33的凸部33a上的钢丝34位于与各滑块150的分离位置相对应的位置上。换句话说，如图26所示，各滑块150的分离位置是与第1边缘部分161及第2边缘部分162相对应的位置，其中第1边缘部分位于滑块150的轨道部153的媒体相向面和轨道部153的外侧侧面154之间，上述滑块150固定在滑块保持夹具80上；第2边缘部分位于滑块150的侧面152和成为滑块150的记录媒体(磁盘)一侧的面159之间，该面159与滑块150的侧面152垂直。因此，配置在钢丝34上的橡胶板38及金刚石研磨片39这样变形，即与第1边缘部分161及第2边缘部分162对应的部分向第1边缘部分161及第2边缘部分162一侧突出。结果，金刚石研磨片39至少与第1边缘部分161及第2边缘部分162接触。

上述的作用同块部件主体31的凹部31a内收纳有弹性部件32的情况一样。但，块部件主体31的凹部31a内收纳有变形用部件33的情况与凹部31a内收纳有弹性部件32的情况相比，钢丝34容易移动。因此，在凹部31a内收纳的部件采用变形用部件33时，即使滑块150在滑块保持夹具80上的固定位置有所错动，通过钢丝34而隆起的橡胶板38及金刚石研磨片39也能进入各滑块150的分离位置，于是钢丝34便移动到与分离位置对应的位置上。结果，金刚石研磨片39便均匀地与相邻的2个滑块150接触，可均匀地进行滑块150的磨边加工。

在滑块150的空气流出侧端部设有磁头元件157。因此，即使对滑块150的空气流动侧端部的边缘部分进行磨边加工，最好要控制加工的程度。

块部件主体31的凹部31a内收纳的部件采用变形用部件33时，钢丝34配置在变形用部件33的凸部33a上，橡胶板38及金刚石研磨片39配置在钢丝34上，因此，在相邻的凸部33a之间的部分上，在变形用部件33的顶面与橡胶板38之间便产生大间隙。结果，在相邻的凸部33a之间的部分上，金刚石研磨片39与滑块150的接触程度较松。因此，可以控制滑块150的空气流出侧端部的边缘部分的磨边加工程度。变形用部件33的凸部33a的宽度和高度根据固定在滑块保持夹具80上的相邻滑块150之间的距离(下称分离宽度)d等适宜地设定，凸部33a的宽度最好设定在0.05～0.2mm的范围内，凸部33a的高度最好设定在0.10～0.50mm的范围内。这里举1个例子，将分离宽度d设定为0.2mm，凸部33a的宽度设定为0.15mm，高度设定为0.4mm。

钢丝34可以用例如耐纶(商品名)等合成纤维和不锈钢等材料制成。钢丝34的外径根据分离宽度d适当设定，在本实施形态中最好在0.03～0.20mm的范围内设定。这里举1个例子，假设钢丝34的外径为0.09mm。

橡胶板38的硬度最好为30～60，但在研磨量大的情况下，最好用较软的橡胶板。这里举1例，橡胶板38的硬度为50。此外，橡胶板38的厚度最好为0.10～0.30mm。这里举1个例子，橡胶板38的厚度为0.30mm。

金刚石研磨片39可在例如挠性薄膜上形成一层研磨材料层而构成。挠性薄膜可用例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)制成。研磨材料层可将例如金刚石颗粒和粘结剂一起涂敷在挠性薄膜上，然后干燥而成。另外，这里举1个例子，将金刚石的粒度设定为0.25μm。挠性薄膜的厚度最好为0～6μm。所谓挠性薄膜的厚度为0μm的情况就是不用挠性薄膜而是用金刚石粒子和粘结剂制成金刚石研磨片39。这里举1个例子，挠性薄膜的厚度设定为4μm或2μm。

另外，X-Y工作台13在Y方向上的摇动宽度最好比X方向上的摇动宽度大。如上所述，将分离宽度d设定在0.2mm、钢丝34的外径设定为0.09mm的情况下，X方向的摇动宽度最好为1～5mm，Y方向的摇动宽度最好为0.05～0.15mm。这里举1个例子，将X方向的摇动宽度设定为3mm，将Y方向的摇动宽度设定为0.08mm。

本实施形态的加工装置10中，在板18上设置数个绕线块30。但，也可将1个大弹性部件或变形用部件固定在板18上，在该弹性部件或变形用部件上配置钢丝，将其两端部固定在板18的端部上。但是，这种结构可能会出现钢丝的张力不稳定、加工精度下降的问题。

然而，本实施形态中，在各绕线块30上，由于钢丝34中位于绕线块30顶面部分上的这一部分的长度较短，故钢丝34的张力比上述结构的稳定。因此，采用本实施例可提高加工精度。

下面，参照图27及图28对负荷施加部100的结构进行说明。图27是从正面一侧看负荷施加部100的断面图，图28是从侧面一侧看负荷施加部100的断面图。如这些图所示，负荷施加部100包括以下几部分：第1段法码保持板110；仅由侧壁构成的2个框111，它们固定在该法码保持板110上；第2段的2个法码保持板120，它们固定在各框111上；仅由侧壁构成的2个框121，它们固定在各法码保持板120上；第3段的2个法码保持板130，它们固定在各框121上；具有侧面及顶面的2个盖131，它们固定在各法码保持板130上。分别按2个设置的框111、法码保持板120、框121、法码保持板130及盖131配列在前后方向上。

在法码保持板110上设有断面呈矩形的10个孔112，这些孔112是这样配置的，即它们同图20或图22所示的滑块保持夹具定位板70的10个孔76的位置关系一样。在法码保持板120、130上与法码保持板110上的孔112相对应的位置上分别设有和孔112同样形状的孔122、132。在各孔112、122、132中分别安装在法码保持夹具140。在各法码保持夹具140上设有在垂直方向上延伸的、断面呈圆形的3个孔141。法码保持板110、120、130及法码保持夹具140与本发明的法码保持部相对应。

在第1段的各法码保持夹具140上分别安装有3个法码113。该法码113是由细长的圆柱形轴部件114和圆柱形大直径部件115构成，该大直径部件固定在轴部件114的上端部一侧，其直径比轴部件114的粗。轴部件114的下端面呈球面状。在大直径部件115上形成有在下端面开口的断面为圆形的凹部，轴部件114的上端插入该凹部内。另外，大直径部件115以螺纹方式固定在轴部件114上。像这样由轴部件114和大直径部件115构成的法码113与本发明的具有规定重量的块部件对应。该块部件的重量可以是任意的。即，可根据用途而适当变更。在本实施形态中，例如设定为25g。另外，第1段法码113的轴部件114，从大直径部件115的下端面向下侧突出的部分为轴部113a，比该轴部113a更上侧的部分为大直径部113b。因此，法码保持夹具140使法码113的轴部113a插通、并阻止大直径部113b插通，这样便可将法码113保持住。

在第2段的各法码保持夹具140上分别安装有3个法码123。该法码123由细长的圆柱形轴部件124、凸缘部件125和1个以上的负荷调整用块部件126构成，其中凸缘部件125是以螺纹方式固定在轴部件124的中途；负荷调整用块部件126安装在比轴部件124的凸缘部件125更上侧的部分上。轴部件124的下端面呈球面状。凸缘部件125的外径比轴部件124的外径粗。此外，负荷调整用块部件126的外径与凸缘部件125的外径相等。在负荷调整用块部件126上分别设有可使轴部件124插通的孔。将轴部件124穿插在该孔内，便可将数个负荷调整用块部件126堆放在凸缘部件125上。这里，最多可堆放4个负荷调整用块部件126。

在第2段法码123上，由轴部件124和凸缘部件125组合而成的部分与本发明的具有规定重量的块部件相对应，其重量例如为25g。而且，各负荷调整用块部件126也与本发明的具有规定重量的块部件相对应，其重量例如为25g。因此，通过改变负荷调整用块部件126的数量，便可在25g-125g范围内、以25g为单位改变法码123的总重量。

另外，在第2段法码123上，配置在最上面的负荷调整用块部件126不管负荷调整用块部件126的个数多少都在轴部件124上的一定位置上、即在轴上堆放了4个负荷调整用块部件126的情况下，在最上段的块部件126的位置上以螺纹方式固定。这是因为需要通过配置在最上面的负荷调整用块部件126将第3段法码133推上去的缘故。

而且，第2段法码123中，在轴部件124上从凸缘部件125的下端面向下侧突出的部分为轴部123a，比轴部件123a更上侧的部分为大直径部123b。因此，法码保持夹具140使法码123的轴部123a插通，阻止大直径部123b插通，这样便可将法码123保持住。

第3段上的各法码保持夹具140上分别安装有3个法码133。该法码133由下述部分构成，即细长的圆柱形轴部件134；在该轴部件134的中途以螺纹方式固定的凸缘部件135；在轴部件134上比凸缘部件135更靠上侧部分上安装的1个以上的负荷调整用块部件136。轴部件134的下端面呈球面形。凸缘部分135的外径比轴部件134的外径更大。另外，负荷调整用块部件136的外径与凸缘部件135的外径相等。在负荷调整用块部件136上分别形成可插通轴部件134的孔。通过将轴部件134穿插在该孔中，便可将数个负荷调整用块部件136堆放在凸缘部件135的上面。在此，负荷调整用块部件136最多可堆放到4个。

在第3段的法码133上，将轴部件134和凸缘部件135组合而成的组合件与本发明的具有规定重量的块部件相对应，其重量例如为25g。另外，各负荷调整用块部件136也与本发明的具有规定重量的块部件相对应，其重量例如为25g。因此，通过改变负荷调整用块部件136的数量，便可使法码133的总重量以25g为单位在25g～125g范围内变化。

另外，在第3段的法码133上，配置在最上面的负荷调整用块部件136不需要用螺纹方式固定在轴部件134的一定位置上。

在第3段的法码133上，轴部件134上从凸缘部件135的下端面向下侧突出的部分为轴部133a，该轴部133a的上侧部分为大直径部133b。因此，法码保持夹具140使法码133的轴部133a插通、而阻止大直径部133b插入，这样，便可保持法码133。

各法码113、123、133的轴部113a、123a、133a上设有螺旋形的槽138。该槽138具有这样的作用，即将因轴部113a、123a、133a与法码保持夹具140的孔摩擦产生的切屑(粉)放入该槽内，以维持轴部113a、123a、133a圆滑的动作。

另外，如图29所示，在法码保持夹具140的孔内形成螺旋形的槽139也可以得到同样的效果。为了得到这种效果，可以设置槽138和槽139之中的至少1个槽。

如图1所示，设在底座部12上的轨道部29上设有向Y方向延伸的导向装置101。在该导向装置101上设有Y方向可动部103。在该可动部103上设有与导向装置101相卡合的卡合部102。并且，通过使卡合部102沿着导向装置101移动，便使可动部103沿Y方向移动。另外，在可动部103上设有向上下方向延伸的导向装置104。

另一方面，法码保持板110左右方向的两端部与上下方向可动部109相连接。在该可动部109上设有与导向装置104相卡合的卡合部105。并且，通过使卡合部105沿着导向装置104移动，便可使可动部109沿上下方向移动。

上下方向可动部109通过上下方向驱动液压缸108在上下方向上被驱动。上下方向驱动液压缸108、上下方向可动部109、导向装置104及卡合部105与本发明的保持部移动机构(装置)相对应。另外，Y方向可动部103通过图2所示的Y方向驱动液压缸107的Y方向上被驱动。

因此，负荷施加部100可在Y方向和上下方向上移动。图2表示使负荷施加部100向后方移动而从X-Y工作台13上退避的状态，使负荷施加部100从该状态向前方移动时，可将负荷施加部100配置在X-Y工作台13上。

另外，使负荷施加部100从其最下段的法码113的轴部113a的下端部不与滑块保持夹具80相接触、而位于滑块保持夹具80的上方的状态向下方移动，于是配置在数段上的法码113、123、133便依次从下段一侧对滑块保持夹具80施加负荷。下面，参照图30至图33对其作用进行说明。

图30表示负荷施加部100的最下段法码113的轴部113a下端部位于滑块保持夹具80上方状态时的负荷施加部100。在这种状态下，在滑块保持夹具80上没有施加外部负荷。

图31表示使负荷施加部100从图30所示的状态向下方移动，最下段法码113的轴部113a的下端部与滑块保持夹具80的上端部相接触，法码113相对于最下段的法码保持夹具140呈提起的状态。另外，在图31所示的状态下，法码113的上端部与第2段的法码123的轴部123a的下端部不接触。在这种状态下，只有最下段的法码113的负荷施加在滑块保持夹具80上。在这里，由于用3个法码113对1个滑块保持夹具80施加负荷，故假设1个法码113为25g的情况下，共有75g负荷施加在1个滑块保持夹具80上。

图32表示使负荷施加部100从图31所示的状态进一步向下方移动，最下段法码113的上端部与第2段法码123的轴部123a的下端部相接触，法码123相对于第2段的法码保持夹具140呈提起的状态。另外，在图32所示的状态下，法码123的上端部与第3段法码133的轴部133a的下端部不接触。在这种状态下，由最下段的法码113和第2段的法码123组成的负荷施加在滑块保持夹具80上。在这里，由于通过3个法码113和3个法码123将负荷施加在1个滑块保持夹具80上，故假设1个法码113为25g、1个法码123为125g的情况下，共有450g负荷施加在1个滑块保持夹具80上。

图33表示使负荷施加部100从图32所示的状态进一步向下方移动，第2段的法码123的上端部与第3段的法码133的轴部133a的下端部相接触，法码133相对于第3段的法码保持夹具140呈提起的状态。在这种状态下，由最下段的法码113和第2段的法码123及第3段的法码133组成的负荷施加在滑块保持夹具80上。在此，由于通过3个法码113、3个法码123及3个法码133将负荷施加在1个滑块保持夹具80上，故假设1个法码113为25g、1个法码123为125g、1个法码133为125g的情况下，共有825g负荷施加在1个滑块保持夹具80上。

为实现这种负荷施加部100的作用，最下段的法码133可在上下方向上移动的距离必须大于下述距离，即在不将负荷施加在滑块保持夹具80上的状态(图30所示的状态)下法码113的上端部与法码123的轴部123a的下端部之间的距离、及法码123的上端部与法码133的轴部133a的下端部之间的距离相加后的距离。

这样，在本实施形态中，通过将由数个法码113、123、133组成的负荷阶段性地加在滑块保持夹具80上，便可以调整施加在滑块保持夹具80上的负荷。

因此，在本实施形态中，例如在未对滑块150的轨道部的边缘部分进行磨边加工时和进行磨边加工的初期阶段，对滑块保持夹具80施加小的负荷而进行边缘部分的磨边加工，根据磨边加工的进行，可以增加施加在滑块保持夹具80上的负荷。这样，可以防止薄的金刚石研磨片39被滑块150的边缘部分切断。另外，向1个滑块保持夹具80施加负荷的每1段法码的数量不限于3个，也可以为2个或4个以上。而且，负荷施加部100上的各法码113、123、133的重量和构成各法码113、123、133的块部件的重量也可以适当变化。

另外，本实施形态的加工装置10还设有未图示的控制部，它用于输入与操作盘23的操作相对应的信号和各传感器的输出信号，对各驱动部分进行控制。

下面，对本实施形态的加工装置10的作用加以说明。另外，以下的说明还包括本实施例的滑块加工方法的说明。

在用加工装置10对滑块150进行加工的情况下，首先，将作为加工对象的数个滑块150通过例如粘结而固定在滑块保持夹具80上，使成为记录媒体一侧的面位于下侧。另外，这时的滑块150是这样得到的，即对棒通过离子铣削等方法形成轨道部以后，将棒切断而得到的，该棒包括配置成一行的数个磁头元件在内的、成为煤体相向面的面已研磨完毕。

在本实施形态中，对固定了滑块150的滑块保持夹具80最好按以下所说明的3个阶段进行磨边加工。

图34是表示第1阶段磨边加工状况的说明图。在第1阶段磨边加工时，用图16所示的板90取代绕线块30。并且，在该板90上配置橡胶板38，在该橡胶板38上面配置金刚石研磨片39。另外，使用板70A作为滑块保持夹具定位板70。第1阶段磨边加工如图34所示，通过板70A对滑块保持夹具80这样进行定位，即在滑块150的媒体相向面相对于金刚石研磨片39的研磨面呈倾斜状态下使滑块150与金刚石研磨片39相接触。

另外，在本实施形态中，通过板70A对滑块保持夹具80定位时，将滑块150固定在滑块保持夹具80上，以使滑块150的媒体相向面中的空气流入端成为下侧。

滑块保持夹具80的侧面与金刚石研磨片39的研磨面所构成的角度θ最好在大于60°、小于90°的范围内，特别是最好为70°±2.5°。

而且，使最下段法码113的轴部113a的下端部与滑块保持夹具80的上端部相接触。如上所述，施加在滑块保持夹具80上的负荷可以调整。最好根据磨边加工的进行而阶段性地增加施加在滑块保持夹具80上的负荷。

进行第1阶段磨边加工时，在图34所示的状态下摇动X-Y工作台13，只对滑块150的空气流入端一侧的边部进行磨边加工。

图35是表示第2阶段磨边加工状况的说明图。第2阶段磨边加工采用绕线块30，该绕线块在块主体31的凹部31a内装有弹性部件32。这样，在弹性部件32上配置钢丝34，在钢丝34上配置橡胶板38，在橡胶板38上配置金刚石研磨片39。另外，使用板70A作为滑块保持夹具定位板70。第2阶段磨边加工如图35所示，通过板70A对滑块保持夹具80这样进行定位，即在滑块150的媒体相向面相对于金刚石研磨片39的研磨面呈倾斜状态下使滑块150与金刚石研磨片39相接触。

滑块保持夹具80的侧面与金刚石研磨板39的研磨面所构成的角度θ最好在大于60°、小于90°的范围内，特别是最好为70°左右。

另外，使最下段法码113的轴部113a的下端部与滑块保持夹具80的上端部相接触。如上所述，施加在滑块保持夹具80上的负荷可以进行调整。最好根据磨边加工的进行阶段性地增加施加在滑块保持夹具80上的负荷。

进行第2阶段磨边加工时，如图25所示，配置在钢丝34上的橡胶板38和金刚石研磨片39中与滑块150的第1边缘部分161和第2边缘部分162相对应的部分产生向第1边缘部分161和第2边缘部分162侧突出的变形。其结果，金刚石研磨片39至少与第1边缘部分161和第2边缘部分162相接触。

进行第2阶段磨边加工时，在图35所示的状态下摇动X-Y工作台13，对滑块150的空气流入端一侧的边缘进一步进行磨边加工，与此同时，对具有台阶的第1边缘部分161和第2边缘部分162进行磨边加工。这样，通过第1阶段的磨边加工和第2阶段的磨边加工，滑块150的空气流入端一侧的边缘比其它边缘进行更多的磨边加工。对滑块150的空气流入端一侧的边缘多进行磨边加工是由于空气流入端一侧的边缘部与其它边缘部分相比，与记录媒体接触的可能性大的缘故。另外，通过第1阶段的磨边加工和第2阶段的磨边加工，滑块150的空气流入端一侧的边缘部被磨边加工成斜面状。

图36是表示第3阶段磨边加工状态的说明图。进行第3阶段磨边加工时使用绕线块30，该绕线块在块主体31的凹部31a内装入变形用部件33。这样，在弹性部件33的凸部33a上配置钢丝34，在钢丝34上配置橡胶板38，在橡胶板38上配置金刚石研磨片39。另外，用板70B作为滑块保持夹具定位板70。第3阶段的磨边加工如图36所示，通过板70B对滑块保持夹具80这样进行定位，即在滑块150的媒体相向面与金刚石研磨片39相平行的状态下使滑块150与金刚石研磨片39相接触。

另外，使最下段法码113的轴部113a的下端部与滑块保持夹具80的上端部相接触。在这里，使滑块150的媒体相向面中的空气流入端一侧成为图36中的滑块150的右侧。在本实施例中，如图36所示，为了对滑块150的媒体相向面中的空气流入端一侧进一步进行磨边加工，使轴部113a的下端部与滑块保持夹具80上端部上的偏右侧位置相接触。而且，如上所述，施加在滑块保持夹具80上的负荷可以进行调整。最好随着磨边加工的进行阶段性地增加施加在滑块保持夹具80上的负荷。

进行第3阶段磨边加工时，配置在钢丝34上的橡胶板38和金刚石研磨片39中与滑块150的第1边缘部分161和第2边缘部分162相对应的部分向第1边缘部分161和第2边缘部分162一侧突出地变形。其结果，金刚石研磨片39至少与第1边缘部分161和第2边缘部分162相接触。

进行第3阶段磨边加工时，在图36所示的状态下摇动X-Y工作台13。这样，包括第1边缘部分161在内的、滑块150的轨道部153的全部边缘部分和第2边缘部分162同时被磨边加工。另外，进行第3阶段磨边加工时，包括通过第1和第2阶段磨边加工而被磨边加工成斜面状的边缘部分在内的、与金刚石研磨片39相接触的边缘部分被磨边加工成曲面状。

第1阶段至第3阶段的磨边加工虽然也可以用1台加工装置10在每1阶段更换绕线块30和滑块保持夹具定位板70等来进行，但使用设定为各阶段用的3台加工装置10来进行磨边加工则效率高。

按照本实施形态的滑块加工方法，可以对滑块150的空气流入端一侧的边缘部分比其它边缘部分多进行磨边加工。这样，可以使滑块150的耐冲击性提高。

在此，对滑块150的空气流入端一侧的边缘部分用本实施形态进行3个阶段的磨边加工的场合与用其它方法进行磨边加工的场合下，对其边缘部分的形状进行比较。

另外，为进行比较，还采用了其它的磨边加工方法，如图37所示的方法和图38所示的方法。图37所示的方法与图34所示的第1阶段的磨边加工一样，不使用绕线块30，而使用图16所示的板90。并且，在该板90上配置橡胶板38，在该橡胶板38上配置金刚石研磨片39。另外，使用板70B作为滑块保持夹具定位板70。因此，图37所示的方法中，滑块保持夹具80是这样定位的，即在滑块150的媒体相向面与金刚石研磨片39的研磨面相平行的状态下使滑块150与金刚石研磨片39相接触。并且，在这种状态下摇动X-Y工作台13，对滑块150的边缘部分进行磨边加工。

另外，图38所示的方法中，与图35所示的第2阶段的磨边加工一样使用绕线块30，该绕线块在块主体31的凹部31a内装有弹性部件32。这样，在弹性部件32的上面配置钢丝34，在钢丝34的上面配置橡胶板38，在橡胶板38的上面配置金刚石研磨片39。而且，采用板70B作为滑块保持夹具定位板70。因此，图38所示的方法中，滑块保持夹具80是这样定位的，即在滑块150的媒体相向面与金刚石研磨片39相平行的状态下使滑块150与金刚石研磨片39相接触。并且，在这种状态下摇动X-Y工作台13，对滑块150的边缘部分进行磨边加工。

在用图37所示的方法或图38所示的方法进行磨边加工情况下，滑块150的空气流入一侧的边缘部分形状的一例示于图39。另外，根据本实施形态进行3个阶段的磨边加工情况下、滑块150的空气流入一侧的边缘部分形状的一例示于图40。图39和图40所示的形状是用触针式表面粗度计测定的。触针式表面粗度计采用英国RankTaylor-Hobson公司制造的“Talystep”(商品名)。另外，触针是采用前端部曲率半径为2μm的触针。在图39和图40中，横轴表示水平方向的位置，纵轴表示垂直方向的位置。

在图39所示的形状中，被磨边加工的区域的高度方向长度为0.5μm。而在图40所示的形状中，被磨边加工的区域的高度方向长度为5.0μm。由这些图可知，若按照本实施形态进行3个阶段的磨边加工，可以对滑块150的空气流入端一侧的边缘部分多进行磨边加工，可使滑块150的耐冲击性能提高。

下面，参照图41至图46对本实施形态中的滑块保持夹具80的侧面和金刚石研磨片39的研磨面所构成的角度θ与磨边加工后的边缘部分的形状的关系进行说明。

如图41所示，将第1阶段和第2阶段磨边加工时的θ设定为60°的情况下，第2阶段磨边加工完毕后边缘部分的形状为如图42所示的形状，第3阶段磨边加工完毕后边缘部分的形状为如图43所示的形状。

另外，如图44所示，将第1阶段和第2阶段磨边加工时的θ设定为75°情况下，第2阶段磨边加工完毕后边缘部分的形状为如图45所示的形状，第3阶段磨边加工完毕后边缘部分的形状为如图46所示的形状。

图42、图43、图45及图46所示形状的测定方法与图39、图40的情况相同。

在图42所示的形状中，被磨边加工区域的高度方向长度为3.5μm。而在图45所示的形状中，被磨边加工区域的高度方向长度为2.5μm。由这些图可知，θ越小，被磨边加工区域的高度方向长度越长。

但是，如对图43与图46进行比较后可知那样，可以推测θ越小，在第3阶段磨边加工后被磨边加工区域也越接近于斜面状态。假设图43所示的形状为允许范围的限度，则θ必须为60°以上。

如上所述，采用本实施形态的加工装置10和本实施形态的滑块加工方法，可以对滑块150的空气流入端一侧的边缘多进行磨边加工，并且可以对具有台阶的第1边缘部分161和第2边缘部分162进行磨边加工。因此，采用本实施形态，可以得到滑块即使倾斜也可以防止边缘部分划伤记录媒体面的滑块150。

另外，与不发生负压的滑块相比，负压滑块在倾斜时第1边缘部分161与记录媒体接触的可能性较大，因此，本实施形态的加工装置10和本实施形态的滑块加工方法在加工负压滑块的情况下效果显著。

而且，按照本实施形态的滑块加工方法，不仅对滑块150的空气流入端一侧的边缘、第1边缘部分161和第2边缘部分162可充分进行磨边加工，而且除此以外，对轨道部153上的媒体相向面的周缘部及滑块150外周面的媒体相向面一侧的周缘部也可充分地进行磨边加工。因此，可以得到即使滑块150以各种形态倾斜也可以防止划伤记录媒体的滑块150。

另外，本实施形态的加工装置10和本实施形态的滑块加工方法中，使金刚石研磨片39变形，并使该金刚石研磨片39与滑块150的第1边缘部分161和第2边缘部分162相接触。这时，由于用具有弹性的橡胶板38支承金刚石研磨片39，故可以防止金钢石研磨片39被切断，可以稳定地进行滑块150的加工。

本实施形态通过将数个法码113、123、133组成的负荷阶段性地加在滑块保持夹具80上，可以对施加在滑块保持夹具80上的负荷进行调整。因此，按照本实施形态，可以防止薄的金钢石研磨片39被滑块150的边缘部分切断。

在本实施形中，由于在法码113、123、133的轴部113a、123a、133a和法码保持夹具140的孔的至少一方上设有螺旋形的槽138或槽139，故通过该槽138、139收集因轴部113a、123a、133a与法码保持夹具140的孔摩擦而产生的切屑(粉)，可以使轴部113a、123a、133a保持圆滑的动作。

在本实施形态中，预备了具有孔76A的滑块保持夹具定位板70A作为1种滑块保持夹具定位板70，上述孔70A按规定的角度相对于垂直方向倾斜。该板70A是这样对滑块保持夹具80进行定位的，即在滑块的媒体相向面相对于金刚石研磨片39的研磨面倾斜的状态下使滑块150与金刚石研磨片39相接触。因此，按照本实施形态，通过采用滑块保持夹具定位板70A，可以对滑块150的特定边缘部分、例如滑块150的空气流入端一侧的边缘进行比其它边缘部分更多的磨边加工。

在本实施形态中，为了对具有台阶的第1边缘部分161和第2边缘部分162同时进行磨边加工，通过钢丝34使橡胶板38和金刚石研磨片39变形。在本实施形态中，不是将钢丝张紧在整个板18的面上，而是采用数个绕线块30而分为数个部分张紧钢丝。因此，按照本实施形态，钢丝34的张力稳定，可以提高加工精度。

另外，本发明不局限于上述实施形态，可以作种种变更。例如，在实施形态中是将滑块150固定，通过X-Y工作台13使金刚石研磨片39移动，但也可以将金刚石研磨片39固定，使滑块保持夹具80动作而使滑块150移动(摇动)。

本发明不限于用于加工图24所示形状的滑块，也可适用于其它形状的滑块加工。而且，本发明不限于2段结构的滑块，也可适用于3段以上结构的滑块的加工。

在实施形态中，作为加工对象的滑块列举了负压滑块的例子，但本发明也可适用于不发生负压的滑块的加工。

另外，本发明也可适用于磁头用以外的其它用途的滑块，例如也可适用于用光记录方式或光磁记录方式进行信息记录或读取用的磁头(传感头)用的滑块等。

如上所述，按照本发明的第1种滑块加工装置或第1种滑块加工用负荷施加装置，可以对施加在滑块保持夹具上的负荷进行调整，故可以防止研磨部件被滑块的边缘部分切断。另外，按照本发明的第1种滑块加工方法，由于随着滑块磨边加工的进行，使施加在保持滑块用的滑块保持夹具上的负荷变化，故可以防止研磨部件被滑块的边缘部分切断。

另外，按照本发明的第2种滑块加工装置或本发明的第2种滑块加工用负荷施加装置，由于通过使保持法码用的法码保持部向上下方向移动而对滑块的边缘部分进行研磨、对边缘部分进行磨边加工时，可以仅在必要时对保持滑块的滑块保持夹具施加负荷，并且在对滑块保持夹具施加负荷用的法码的轴部外周面和法码保持部的孔的内周面的至少一方上设有螺旋形的槽，故利用该螺旋形槽收集因法码的轴部与法码保持部的孔之间摩擦而产生的切屑(粉)，可以保持轴部圆滑的动作，并可以使机构顺利地动作。

按照本发明的第3种滑块加工装置或第2种滑块加工方法，由于下述那样对滑块保持夹具进行定位，即在滑块的媒体相向面相对于研磨部件的研磨面呈倾斜的状态下，使滑块与研磨部件相接触，并用研磨部件对滑块的边缘部分进行研磨，故可以对滑块的一部分边缘比其它边缘部分多进行磨边加工。

另外，按照本发明的第3种滑块加工方法，包括第1研磨程序和第2研磨程序，其中第1研磨程序是在滑块的媒体相向面相对于研磨滑块的边缘部分用的研磨部件的研磨面呈倾斜状态下使滑块与研磨部件相接触，并使滑块与研磨部件相对地移动，对滑块的边缘部分中与研磨部件相接触的部分进行研磨；第2研磨程序是在滑块的媒体相向面与研磨部件的研磨面相平行的状态下使滑块与研磨部件接触，并使滑块与研磨部件相对地移动，对滑块的边缘部分中，与研磨部件相接触的部分进行研磨，因此，可以对滑块的一部分边缘部分比其它边缘部分多进行磨边加工，并且也可对其它边缘部分充分地进行磨边加工。

采用本发明的第1种滑块加工用辅助装置，可以以这样的方式对滑块保持夹具进行定位，即在滑块的媒体相向面相对于研磨部件的研磨面呈倾斜的状态下使滑块与研磨部件相接触，故可以对滑块的一部分边缘部分比其它边缘部分多进行磨边加工。

另外，采用本发明的第4种滑块加工装置或本发明的第2种滑块加工用辅助装置，由于将用于使研磨部件变形的钢丝卷绕在主体的外周部上，以便于对滑块上的具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨，因此，钢丝的张力稳定，可对滑块上具有台阶的数个边缘部分同时进行研磨进行磨边加工，并且可提高加工精度。

根据以上说明可知能够实施本发明的各种形态和变化的例子。因此，在与以下权利要求范围等同的范围内还可以上述最佳形态以外的形态实施本发明。