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一种金属－绝缘体－金属开关器件的制法

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摘要

本发明涉及一种用于液晶显示器寻址的金属－绝缘体－金属有源薄膜开关器件的制法。采用五氧化二钽膜制作金属－绝缘体－金属开关器件的绝缘层,阳极氧化的五氧化二钽膜在氢气气氛下进行退火处理。减少绝缘膜的阳极氧化Ta

1. 一种金属－绝缘体－金属开关器件的制法 [P] . 中国专利： CN1230792A . 1999-10-06
2. 一种基于金属-绝缘体-金属结构的三fano共振纳米折射率传感器 [P] . 中国专利： CN112858221A . 2021-05-28
3. Electrode for a metal-insulator-metal structure, capacitor of metal-insulator-metal type, and method for fabricating one such electrode and one such capacitor [P] . 美国专利： US10319806B2 . 2019-06-11

机译：用于金属-绝缘体-金属结构的电极，金属-绝缘体-金属类型的电容器，以及一种这样的电极和一种这样的电容器的制造方法
4. Electrode for a metal-insulator-metal structure, capacitor of metal-insulator-metal type, and method for fabricating one such electrode and one such capacitor. [P] . 美国专利： US2017033174A1 . 2017-02-02

机译：用于金属-绝缘体-金属结构的电极，金属-绝缘体-金属类型的电容器，以及一种这样的电极和一种这样的电容器的制造方法。
5. a way to obtain acrylic acid using free of alkali metals and alkaline land metals u0446u0435u043eu043bu0438u0442u043du043eu0433u043e material [P] . 俄罗斯专利： RU2016152439A . 2018-07-02

机译：一种不含碱金属和碱土金属的丙烯酸的制法 u0446 u0435 u043e u043b u0438 u0442 u043d u043e u0433 u043e材料