包括具有微反射镜的干涉仪的可调光学测试装置及系统

摘要

通过比较测试光束和参考光束来确定在源光束中的象差的可调光学系统,包括:测试光源;波阵面分析器;和干涉仪,其包括:将源光束分成测试光束和参考光束的分束器;成像装置;反射镜,将测试光束反射到成像装置上;微反射镜,将参考光束的中央部分反射到成像装置上并让参考学束的外围部分由此通过;用来收集和探测参考光束的所述外围部分的对光图像装置;和将参考光束会聚在微反射镜之上的聚焦装置,微反射镜的横向尺寸不超过由聚焦装置聚焦其上的参考光束的中心波瓣的大致横向尺寸。