一种光学接触式测量方法和使用该方法的微型三维测头

摘要

本发明是集光学方法测量及机械接触方法测量的可靠性和单一性于一体的光学接触式测量方法和利用该方法的微型三维测头,用于微米尺度微小型工件的测量。该测头的优点是测力小(小于50μN),且“测杆”的弹性、塑性变性和迟滞效应不会引触测不确定误差。该发明的特征是通过光学成像系统和CCD摄像机确定被照明微型触测球体的球心坐标,光纤测杆三维触测适应性的优化几何结构,触测球体在光轴方法上离焦距离的测量方法。