光学接触式微型三维测量系统

摘要

本文介绍了一种集光学方法的高准确度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统 ,用于测量微型工件的三维几何参数。该系统测头直径为 40～ 10 0 μm,测量准确度优于 1μm,测量力小于 10 μN。