平面衍射光栅光阀的制造方法和设备

摘要

用于光调制的可变形光栅装置,其制作步骤有:在基片(400)上形成绝缘层(402),在绝缘层(402)上形成第一导电层(406),然后在其上形成损耗层。然后刻蚀损耗层和第一导电层,以定义至焊盘(306,312,316)的总线和比特线。然后将一层弹性材料(410)覆盖在刻蚀层上,且在弹性导上形成反射导电层(414)。在反射导电层(414)上淀积介质层(416)。然后对所有的介质层(416)、反射导电层(414)、弹性层(410)以及损耗层刻蚀,以形成包括多个平行部件(304)在内的光栅。此后损耗层从平行部件下除去,以使平行部件(304)悬浮于第一导电层上。处理该表面,以避免光栅粘附于第一导电层。光调制器包括具有绝缘层的基片以及绝缘层上形成的多个平行导电层。带(304)与导电层(300,302)之间由气室隔开,且带安装于基片、导电层之间的间隙内。