离子注入过程模拟装置和模拟方法

摘要

本发明装置包括:根据离子注入剖面数据制成Dual Pearson数据表的Dual Pearson数据抽出部;从DualPearson数据表取得用于剂量系数的内插和外插参数的内插用Dual Pearson数据取得部;剂量系数内插/外插部,通过分别代表非晶态成分和沟道效应成分的两个函数的线性结合来表述离子注入剖面,同时,使用不依赖于剂量的瞬间参数和依赖于剂量的线性结合的系数,使沟道效应成分剂量系数的对数值对全剂量值的对数值进行内插和外插;输出模拟结果的模拟结果输出部。