法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2000-03-01
专利申请的视为撤回
专利申请的视为撤回
1998-03-18
公开
公开
机译: 电源电压变化分析方法,电源电流变化分析方法,电源电压变化分析装置和电源电流变化分析装置
机译: 在限制等离子体室和电源之间流动的电流的电流的方法与电源和等离子体之间的等离子室和电源之间提供的电流变化,以限制流动的电流的电流变化腔室限制装置及真空处理装置
机译: 限制等离子体腔和电源之间的电流流动变化的方法,为限制等离子体腔和电源之间的电流流动和电流而制备的等离子体腔和电源之间的电流变化率限制装置