在至少一个底物表面上生成一层的方法和设备

摘要

一种通过化学气相沉积(CVD)由一种过程气流(5)在一个底物(2)表面(20)生成一个层(6)的方法和设备,在CVD过程中将一种过程气流(5)引向至少保持900℃的底物(2)表面(20)。由过程气流在底物上沉积出层(6)。过程气流的方向至少基本上反向平行于重力。因此,热浮托力不再对此过程有干扰作用。