公开/公告号CN1153726A
专利类型发明专利
公开/公告日1997-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 阿姆斯泰德工业公司;
申请/专利号CN96121020.6
申请日1996-11-19
分类号B61F3/00;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张祖昌
地址 美国伊利诺斯
入库时间 2023-12-17 12:56:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2000-03-08
专利申请的视为撤回
专利申请的视为撤回
1997-07-09
公开
公开
1997-06-11
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 基板翘曲去除装置,基板翘曲检测单元,基板处理装置,方法以及存储介质的基板翘曲去除装置及方法
机译: 翘曲整平单元,翘曲整平装置,图像形成装置和翘曲整平处理程序
机译: 翘曲排序装置和使用该翘曲排序装置检查板翘曲的方法