测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法

摘要

测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法。本发明属长度计量与测试技术领域，结构由三维位移测量单元组成，其导向元件为波纹管或膜片三维弹性体，其优点在于可测量大于Φ0.2mm的通孔或盲孔和狭槽任意截面尺寸和形状误差，被测小孔深径比大于30∶1，本发明测头可装在三坐标测量机上，当测头接触工件时，测杆变形并带动弹性体变形，用电容测微仪测头测出固定于三维弹性体上的金属平板竖向位移值，就可以对工件瞄准和测量，用电容测微仪示值计算可修正测杆变形误差。