光电加速度计和光电水平仪及其制造方法

摘要

本发明采用光电位移传感器，用弹性金属片与线圈和挡光板固定连接，用光电信号来控制挡光板使其产生与加速度或倾斜角成正比的电压，来表示加速度或倾斜角的大小。本发明具有精度高不受温度及气压的影响，造价低和体积小，安全系数高的特点，适用于卫星、火箭、导弹、船舶、车辆和一切需要制导及平衡控制的设备中，也可用来制作检测精度高的电子水平仪。依照本发明的方法制成的加速度计或水平仪可以封装在体积很小的集成块内，以供机械人等精密仪器的使用，或作为随身携带的电子水平尺。