可用于形成掺氟氧化锡涂层的含氟有机锡化合物

摘要

本发明涉及特别适用于以化学蒸汽沉积法形成掺氟氧化锡涂层的含氟有机锡化合物。在优先实施的方案中使用的化合物是三氟乙酸一丁基二氯锡，它是由三氯化一丁基锡和三氟乙酸反应制得的。