首页> 中国专利> 文献详情

基于单晶硅纳米膜/石墨烯的柔性光电探测器及制备方法

摘要

本发明公开一种基于单晶硅纳米膜/石墨烯的柔性光电探测器及制备方法,该光电探测器由聚酰亚胺衬底、金属互连导线、单晶硅纳米薄膜、单原子层石墨烯以及顶层聚酰亚胺组成。本发明基于体硅/石墨烯肖特基异质结光电探测器优异性能的基础上,将体硅减薄到纳米级尺度,使原本大而坚硬的固体硅变得薄而柔且可实现较大程度上的弯曲,经柔性封装材料聚酰亚胺封装后,在保留体硅/石墨烯异质结优异光电探测性能的基础上,还具有了超薄、柔性的优点,结合聚酰亚胺的高绝缘性和良好的生物相容性,大大拓宽了硅/石墨烯异质结光电探测器的应用领域,尤其是生物医学领域、可穿戴电子设备领域等。

著录项

  • 公开/公告号CN111180540A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;

    申请/专利号CN201911405518.2

  • 申请日2020-05-19

  • 分类号

  • 代理机构杭州求是专利事务所有限公司;

  • 代理人贾玉霞

  • 地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0392 申请日:20191230

    实质审查的生效

  • 2020-05-19

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
站内服务
  • 论文查重
  • 论文收录引证报告
  • 文档翻译
  • 文档转换
获取专利

联系方式:18141920177 (微信同号)

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号