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用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法

摘要

本发明涉及用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的目的在于,提供一种能够避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时将基板正确且精密地移动至固定位置的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的另一目的在于,通过改良这样的基板移动装置的结构,提供一种不仅能够大幅减少装置整体的体积,还能够减少移动基板并排列到固定位置所需的时间的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。

著录项

  • 公开/公告号CN111180373A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 科美仪器;

    申请/专利号CN201911009633.8

  • 发明设计人 李相植;吴准昊;高锡准;金东雨;

    申请日2019-10-23

  • 分类号

  • 代理机构北京汇思诚业知识产权代理有限公司;

  • 代理人张黎

  • 地址 韩国大田广域市

  • 入库时间 2023-12-17 11:49:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20191023

    实质审查的生效

  • 2020-05-19

    公开

    公开

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