电路设计版图和电镜扫描图像的配准方法及系统、电路设计版图和其成像误差计算方法

摘要

本发明提供电路设计版图和电镜扫描图像的配准方法，包括步骤S1：提供待配准的电路设计版图及电镜扫描图像；步骤S2：对待配准的电路设计版图进行处理获得设计版图二值图像；对待配准的电镜扫描图像处理获得电镜扫描二值图像；步骤S3：对设计版图二值图像及电镜扫描二值图像进行高斯滤波以使得设计图案及扫描图案对应的区域之中心轴线处灰度值最大；及步骤S4：根据设计图案及扫描图案的中心轴线进行配准。本发明还提供电路设计版图和电镜扫描图像的配准系统、电路设计版图和其成像误差计算方法及电子设备，电路设计版图和电镜扫描图像的配准方法及系统、电路设计版图和其成像误差计算方法及电子设备具有配准精确，误差计算精准等优点。