一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构及制作方法

摘要

本发明公开了一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构及制作方法，在铌酸锂衬底上制作波导区域以及集成光学调制器芯片上的调制电极，调制电极为推挽式结构，包括两侧的信号电极与中心的地电极，信号电极与地电极均为平行于波导区域的长条状，波导区域为Y型分支，位于衬底表面之下，调制电极对称分布于波导区域两侧，位于衬底表面之下，均匀蒸镀并电镀于沉降式凹槽的三个表面。本发明根据电场与光场之间的分布特性，优化传统电极设计模式，采用沉降式的电极替代传统平面电极，使得调制器电光作用区域的电场分布更为均一，有效抑制了由于电场分布偏差引入的调制误差，为高精度光纤陀螺的研制提供了有效可行方案。