公开/公告号CN111597651A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 上海工程技术大学;
申请/专利号CN202010363430.5
申请日2020-04-30
分类号G06F30/17(20200101);G06F30/20(20200101);G06K9/62(20060101);G06N3/00(20060101);G01M13/045(20190101);G06F119/04(20200101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人杨宏泰
地址 201620 上海市松江区龙腾路333号
入库时间 2023-12-17 11:41:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-28
公开
公开
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于模拟的OPC模型评估方法
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于仿真的OPC模型评估方法
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于模拟的OPC模型评估方法