多级真空泵和差异化地抽吸多个真空室的方法

摘要

公开了一种多级正排量真空泵和使用这种泵差异化地抽吸多个真空室的方法。该泵包括用于容纳至少一个转子的壳体，该转子安装成在对应的至少一个轴上旋转并且用于将气体抽吸通过多个级以通过排气口输出。壳体包括第一入口和另外的入口，第一入口被配置成允许气体进入所述真空泵的入口级，另外的入口被配置成允许气体进入所述真空泵的中间级。该泵被配置成使得通过第一入口和另外的入口中的每一个进入的气体作为组合气体流一起被所述中间级下游的所述真空泵的至少一级抽吸。