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气流扩散装置及扩散炉

摘要

本发明属于晶圆加工设备技术领域,具体涉及一种气流扩散装置及扩散炉。所述气流扩散装置包括外壳,设于所述外壳的内部的内管,所述内管包括处于不同竖直高度的第一端和第二端,且所述第一端高于所述第二端设置;设于所述第一端的盖体,所述盖体与所述内管相连或所述盖体为所述内管的一部分,所述盖体上设有气流过孔。

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  • 2020-08-25

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