一种基于两级执行器结构的大光程闭环测量系统

摘要

本发明公开了一种基于两级执行器结构的大光程闭环测量系统，该系统由光电转换模块，数字控制模块，两级执行器模块组成；其中光电转换模块可与光纤干涉仪直连，完成光信号到电信号的转换，数字控制模块根据输入信号计算每一个控制周期的闭环反馈值给执行器模块。本文的两级执行器模块由两种性能互补的执行器组成，其中一级执行器选择中等光程高动态性能的执行器，如光纤用压电陶瓷，完成反馈值的补偿，同时由于光的干涉原理，一级执行器的输出具有不起作用的直流量部分，此部分使用动态性能一般但具有cm级行程的大行程执行器如电动光纤延时线进行慢补偿。本发明通过两级执行器的配合使用保证整个闭环系统驱动级高动态、大光程的闭环测量能力。