一种基于微腔光梳的扫描位移台干涉测距装置

摘要

本发明公开了一种基于微腔光梳的扫描位移台干涉测距装置，所述测距装置包括微腔光梳模块、测距模块和数据采集模块。所述泵浦通过光纤连接功率放大器和微谐振腔，产生一束高重频激光脉冲，通过第一准直镜和分光镜后，被分为两束，一束打到参考镜并返回，所述参考镜放置在位移台上；另一束激光通过第一测量镜打到第二测量镜上，所述第一测量镜为半透半反镜，光束经过两个测量镜后分别返回，通过控制所述位移台移动，使两束测量镜返回光分别与参考镜返回光在分光镜存处形成干涉条纹，由第二准直镜接收，传入光电探测器，采集数据传入计算机进行处理。本发明可以实现距离的精密测量。