公开/公告号CN111461054A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-28
原文格式PDF
申请/专利权人 上海月新生科信息科技有限公司;
申请/专利号CN202010288696.8
申请日2020-04-14
分类号
代理机构合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙);
代理人杨润
地址 200235 上海市徐汇区钦州路100号1号楼203室
入库时间 2023-12-17 11:28:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G06K9/00 申请日:20200414
实质审查的生效
2020-07-28
公开
公开
机译: 单颗粒膜掩膜和单颗粒膜掩膜的制造方法,使用单颗粒膜掩膜的微结构的制造方法和由微结构产生方法产生的微结构
机译: 单颗粒膜蚀刻掩模和单颗粒膜蚀刻掩模的制造方法,使用单颗粒膜蚀刻掩模的微结构的制造方法以及通过微结构制造方法制造的微结构
机译: 单颗粒分配装置和使用该单颗粒分配装置的单颗粒分配方法