一种基于层状倾斜ITO纳米棒阵列的可见光高透过的中红外吸波器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于层状倾斜ITO纳米棒阵列的可见光高透过的中红外吸波器件及其制备方法。该器件由自下而上依次叠加排列的三层倾斜的ITO纳米棒阵列构成，三层ITO纳米棒的倾斜角自下而上分别为14.6°、28.2°、45.8°，三层ITO纳米棒的半径自下而上依次减小，其中每层ITO纳米棒阵列厚度为200nm，每层ITO纳米棒阵列均呈六方晶格排列；通过电子束蒸发镀膜系统，在洁净的衬底上通过三个不同沉积角分别沉积ITO，样品退火后获得层状倾斜ITO纳米棒阵列结构。本发明制备的器件具有可见光波段的高透过率以及3‑5μm波段的高吸收率，可应用于窗口类隐身材料或相关器件领域，制备工艺简单，制备的器件面积大，易于大规模生产。