气体泄漏探测装置、工件检查装置以及泄漏检查方法

摘要

工件检查装置(1)具备：检查室(2)，其被填充与大气不同的检查用气体(TG)，收容工件(1000)；检查部(3)，其检查收容于检查室(2)内的工件(1000)；以及气体泄漏抑制构造(4)，其抑制工件(1000)相对于检查室(2)的出入所产生的检查室(2)内的检查用气体(TG)的泄漏。