法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-11
公开
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机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法