一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行定位和测量的方法

摘要

本发明涉及精密测量技术领域，具体为一种采用辅助相机对单目偏折测量工件进行定位和测量的方法。本发明的实施步骤为：在偏折测量系统中采用两个相机，保证其测量视场有一定重合；基于双目偏折测量技术对重合视场的面形进行测量，然后将该数据点集与工件的设计面形进行配准，将设计方程移动到实际测量数据的配准位置处；保持测量数据的位置不动，采用单目偏折测量迭代得到被测元件的面形。本方法结合了单目测量和双目测量两种测量方法的优势，采用双目方法确定被测元件的位置，消除单目偏折测量的高度‑斜率歧义性，然后采用单个相机进行测量，克服双目测量视场较小的缺点，本发明方法对于大尺寸元件的精密测量具有重要的应用价值。