多孔硅基多壁碳纳米管复合材料气敏传感器及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种多孔硅基多壁碳纳米管复合材料气敏传感器及其制备方法和应用，传感器包括大孔径的多孔硅基底、一层设置在所述多孔硅基底顶面边界处的Pt膜电极、与所述Pt膜电极连接以确保Pt膜电极与多孔硅基底之间实现欧姆接触的铜丝、电泳法沉积在所述多孔硅基底上的多壁碳纳米管薄膜以及对称设置在所述多孔硅基底上表面的两块方形的Pt电极；利用双槽电化学腐蚀法制备大孔径的多孔硅基底，采用电泳法在其表面可控沉积多壁碳纳米管，构建新型的多壁碳纳米管/多孔硅纳米复合材料气敏传感器，能够在室温下对二氧化氮和氨气气体具有高灵敏度、快速的响应/恢复特性、良好稳定性以及与硅基集成电路系统的良好兼容性。