一种基于热压工艺的柔性多层膜超材料制备及表征方法

摘要

一种基于热压工艺的柔性多层膜超材料制备及表征方法。包括针对常规柔性多层膜的热压模具、热压环境、后期淬火方法和太赫兹波谱无损表征手段。该多层膜超材料制备及表征方法，依据COMSOL软件对热压模型热传递的仿真模拟结果所确定的热压温度，通过调控压制温度、淬火时间来实现多层膜超材料的制备，同时辅助高分辨率的真空太赫兹时域光谱无损检测手段对其进行压制性能的表征，相较常规的电子束刻蚀(EBL)、聚焦离子束(FIB)、干涉刻蚀(IL)和纳米压印刻蚀(NIL)技术等多层柔性材料制备技术，此方法具有低成本、高精度、可制备大面积多层膜超材料等特点。