通过实时控制静电夹钳中的静电电荷沉积来提供一致性静电夹持的方法

摘要

本发明提出一种具有静电夹钳的静电夹钳监测系统，该静电夹钳配置成通过一个或多个电极选择性将工件静电夹持至与其相关联的夹持面。电源供应器电耦接至静电夹钳并配置成选择性以夹持频率向静电夹钳供给夹持电压。数据采集系统测量供给至一个或多个电极的电流，并且控制器取经测电流对时间的积分，以此确定与工件与静电夹钳间夹持力相关联的电荷值。控制器进一步配置成基于确定电荷值选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个，由此保持工件与静电夹钳间的期望夹持力。