Ni掺杂CuCoMnOx尖晶石结构太阳能选择吸收涂层及制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，通过预先制备尖晶石结构的陶瓷靶材并使用Ni靶材同时射频磁控溅射在基体上制备于Ni掺杂CuCoMnOx尖晶石结构太阳能选择吸收涂层。该涂层能够在中高温环境中应用，能够有效提高吸附层与基体之间的结合力、防止涂层脱落，而且可以精确控制金属元素的掺杂含量。本发明采用两个靶材，都连接射频源。两个射频源既可以同时工作，又可以独立工作。两个靶材的靶距、溅射功率、溅射时间都可以根据需要独立调节。当两个靶材同时开启工作时，两个靶材中的原子将同时溅射出来，从而可以原位进行掺杂。可以通过调节掺杂靶的靶距和溅射功率很方便地控制掺杂浓度。