公开/公告号CN111563356A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州浪潮智能科技有限公司;
申请/专利号CN202010316030.9
发明设计人 陈政良;
申请日2020-04-21
分类号G06F30/367(20200101);
代理机构11278 北京连和连知识产权代理有限公司;
代理人张涛
地址 215100 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区郭巷街道官浦路1号9幢
入库时间 2023-12-17 11:07:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
公开
公开
机译: 使微电子衬底平坦化并调节平坦化介质的方法和设备
机译: 使微电子衬底平坦化并调节平坦化介质的方法和设备
机译: 一种用于处理电解阳极板的设备,该设备包括:用于传输阳极板设备的横向传输设备,板的平坦化和厚度计;下部铣削设备;铣削设备L,用于处理心房;电解阳极板。