公开/公告号CN111499215A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-07
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市锐欧光学电子有限公司;
申请/专利号CN202010456773.6
申请日2020-05-26
分类号C03C17/00(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构44545 深圳众邦专利代理有限公司;
代理人李茂松
地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路新福工业园A-2栋厂房501(A3-5、A4-2、A6-1西);在福海街道和平凤塘大道蚝二佳仕泰科技园4栋5楼、福朗路和泰工业区(和丰工业园)厂房5栋设有经营场所从事生产经营活动
入库时间 2023-12-17 10:58:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
公开
公开
机译: 真空镀膜装置和真空镀膜装置的过程容器的分离装置
机译: 直通式真空镀膜装置及带有干燥输送装置的直通式真空镀膜装置
机译: 用于真空镀膜系统中的真空处理基材的装置以及包括该装置的真空镀膜系统