一种基于时空协同变换曝光提高光刻分辨率的方法

摘要

本发明公开了一种基于时空协同变换曝光提高光刻分辨率的方法，涉及DMD器件成像曝光领域，包括将平台微移动、DMD图形变换和曝光能量调节三种动态量进行协同匹配,形成时空协同变换的曝光方式提高光刻分辨率，通过将时空协同变换技术应用于DMD投影光刻，可以在不降低DMD微镜尺寸或投影透镜放大率的情况下显著改善光刻图案的边缘平滑度，利用CAD量化图形，再用matlab提取子图，结合压电平台微位移同时控制曝光能量进行子图错位叠加曝光，在提高光刻图形边缘的平滑度的同时，可以准确控制图形线宽。