一种快速形成径向温度梯度分布的工装

摘要

本发明提供了一种快速形成径向温度梯度分布的工装，所述工装包括圆形底部、传热主体、圆形工作平台、保温层、石英基片、导热硅脂等构成。其中水平圆形底部用于连接热源提供恒定温度，传热主体依靠本身的导热特性及与外界环境的热交换从而达到动态温度平衡，其侧面采用的是保温层进行隔热保温，赋予圆形工作平台的温度呈环向均匀分布、径向呈一定温度梯度分布，为了减小接触热阻，石英片通过导热硅脂与工作平台形成面接触，最后赋予石英基片表面温度呈环向均匀分布、径向呈一定温度梯度分布。本发明可以快速实现圆形水平基片径向温度连续梯度分布，且温度分布可控、操作方便可靠。