可变激发光源入射角度的PL波长的量测方法及装置

摘要

本发明涉及一种可变激发光源入射角度的PL波长的量测方法及装置，所述量测装置包括用于改变激发光源入射角度及光致发光的收光镜组的位置及角度调整机构，所述位置角度调整机构与PL量测系统的控制器相连接。该技术方案通过增设改变激发光源入射角度及光致发光的收光镜组的位置及角度调整机构，位置及角度调整机构设置分光仪或PL收光镜头可调收光镜头轨道轨迹，实现可变激发光源入射角度的VCSEL不同发光波长PL量测。该装置也可用在以连续光谱光源（紫外‑白光‑红外）的反射率光谱及吸收光谱的量测上。